| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 课题来源和背景介绍 | 第11-12页 |
| 1.2 传统微纳米颗粒表面改性方法 | 第12-14页 |
| 1.3 原子层沉积技术 | 第14-19页 |
| 1.4 基于ALD的微纳米颗粒表面改性技术发展 | 第19-24页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第24-27页 |
| 2 基于流化的微纳米颗粒原子层沉积建模 | 第27-61页 |
| 2.1 微纳米颗粒团聚现象 | 第27-29页 |
| 2.2 微纳米颗粒流态化 | 第29-34页 |
| 2.3 微纳米颗粒团聚体分散 | 第34-35页 |
| 2.4 离心流化技术 | 第35-37页 |
| 2.5 基于流体动力学的微纳米颗粒原子层沉积建模 | 第37-40页 |
| 2.6 离心流化式ALD系统研制 | 第40-51页 |
| 2.7 模型与沉积效果验证 | 第51-60页 |
| 2.8 本章小结 | 第60-61页 |
| 3 离心流化原子层沉积工艺研究 | 第61-73页 |
| 3.1 引言 | 第61页 |
| 3.2 基于质谱法的沉积过程在线监测 | 第61-64页 |
| 3.3 离心流化床ALD反应过程的质谱监测 | 第64-66页 |
| 3.4 流速对于沉积速率和前驱体利用率的影响 | 第66-67页 |
| 3.5 转速对于沉积速率和前驱体利用率的影响 | 第67-68页 |
| 3.6 前驱体浓度对于沉积速率和其利用率的影响 | 第68-69页 |
| 3.7 床层厚度对于沉积速率和前驱体利用率的影响 | 第69-70页 |
| 3.8 工艺参数对沉积过程的耦合影响 | 第70-72页 |
| 3.9 本章小结 | 第72-73页 |
| 4 四氧化三铁纳米颗粒表面原子层钝化 | 第73-86页 |
| 4.1 引言 | 第73-74页 |
| 4.2 四氧化三铁纳米颗粒的合成 | 第74页 |
| 4.3 原子层沉积方法对四氧化三铁纳米颗粒进行表面钝化 | 第74-76页 |
| 4.4 氧化铝包覆四氧化三铁核壳结构的表征分析 | 第76-85页 |
| 4.5 本章小结 | 第85-86页 |
| 5 基于原子层沉积的三氢化铝颗粒稳定化方法 | 第86-102页 |
| 5.1 引言 | 第86-87页 |
| 5.2 三氢化铝颗粒的合成 | 第87-88页 |
| 5.3 基于原子层沉积的三氢化铝颗粒表面氧化铝阻隔层沉积 | 第88-90页 |
| 5.4 氧化铝包覆三氢化铝核壳结构的表征分析 | 第90-97页 |
| 5.5 摩擦稳定性 | 第97-99页 |
| 5.6 热分解特性 | 第99-100页 |
| 5.7 本章小结 | 第100-102页 |
| 6 全文总结与工作展望 | 第102-105页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第102-103页 |
| 6.2 下一步工作展望 | 第103-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-117页 |
| 附录1 术语列表 | 第117-118页 |
| 附录2 本文所采用的各实验手段仪器型号 | 第118-119页 |
| 附录3 本文所采用的简写列表 | 第119-120页 |
| 附录4 攻读学位期间取得的成果 | 第120-123页 |
| 1. 发表论文 | 第120-121页 |
| 2. 参加学术会议 | 第121页 |
| 3. 申请和授权专利 | 第121-122页 |
| 4. 荣誉奖励 | 第122页 |
| 5. 博士生期间参与的课题研究情况 | 第122-123页 |