硅与砷化镓表面纳米结构的制备和性能的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 太阳能电池的研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 太阳能电池的发展简介 | 第11-15页 |
| 1.2.1 第一代晶体太阳能电池 | 第11-12页 |
| 1.2.2 第二代薄膜太阳能电池 | 第12-13页 |
| 1.2.3 第三代高效率太阳能电池 | 第13-15页 |
| 1.3 光吸收增强的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3.1 太阳能电池表面制绒 | 第15页 |
| 1.3.2 太阳能电池纳米结构 | 第15-17页 |
| 1.3.3 太阳能电池等离激元增强 | 第17-18页 |
| 1.4 本文的研究内容、结构安排和创新点 | 第18-20页 |
| 1.4.1 主要研究内容 | 第18页 |
| 1.4.2 论文结构安排 | 第18-19页 |
| 1.4.3 研究的创新点 | 第19-20页 |
| 第二章 研究基础与研究内容 | 第20-33页 |
| 2.1 研究基础 | 第20-28页 |
| 2.1.1 理论知识 | 第20-24页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第24-28页 |
| 2.2 研究内容 | 第28-33页 |
| 2.2.1 纳米结构的刻蚀 | 第28-31页 |
| 2.2.2 FDTD光吸收仿真 | 第31-32页 |
| 2.2.3 金球增强电池的实验 | 第32-33页 |
| 第三章 纳米结构制备的研究 | 第33-42页 |
| 3.1 硅表面纳米结构制备的研究 | 第33-36页 |
| 3.1.1 金薄膜溅射速率 | 第33-34页 |
| 3.1.2 退火对金掩模的影响 | 第34-35页 |
| 3.1.3 刻蚀对纳米结构的影响 | 第35-36页 |
| 3.2 砷化镓表面纳米结构制备的研究 | 第36-40页 |
| 3.2.1 纳米金球的形成 | 第36-38页 |
| 3.2.2 刻蚀对纳米结构的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.3 MAC法的刻蚀速率 | 第39-40页 |
| 3.3 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 纳米金球和纳米空腔的光学研究 | 第42-60页 |
| 4.1 硅表面金球和空腔的光学仿真 | 第42-49页 |
| 4.1.1 金球对硅的光学影响 | 第42-45页 |
| 4.1.2 空腔对硅的光学影响 | 第45-47页 |
| 4.1.3 金球与半球空腔对硅的协同作用 | 第47-49页 |
| 4.2 砷化镓表面金球和空腔的光学仿真 | 第49-54页 |
| 4.2.1 金球对砷化镓光吸收的影响 | 第49-51页 |
| 4.2.2 空腔对砷化镓光吸收的影响 | 第51-52页 |
| 4.2.3 金球与半球空腔对砷化镓的协同作用 | 第52-54页 |
| 4.3 砷化镓电池引入纳米金球的光伏研究 | 第54-59页 |
| 4.3.1 纳米金球的消光曲线 | 第55页 |
| 4.3.2 纳米金球对电池效率和QE的影响 | 第55-58页 |
| 4.3.3 金球密度对砷化镓的光学影响 | 第58-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 总结 | 第60页 |
| 5.2 展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第66-67页 |
