| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·Ti-Si-N 纳米复合表面的研究概述 | 第11-15页 |
| ·Ti-Si-N 晶体结构与性能 | 第11-13页 |
| ·Ti-Si-N 研究中的问题 | 第13-15页 |
| ·Ti-Si-N 纳米复合表面的应用 | 第15页 |
| ·硬度介绍 | 第15-17页 |
| ·硬度的定义及分类 | 第15页 |
| ·硬度测量方法 | 第15-17页 |
| ·国内外压痕试验的仿真研究 | 第17-20页 |
| ·分子动力学仿真 | 第18页 |
| ·有限元仿真 | 第18-20页 |
| ·有限元与分子动力学耦合方法仿真 | 第20页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第20-22页 |
| 2 纳米压痕技术 | 第22-29页 |
| ·纳米压痕的一般概念 | 第22-23页 |
| ·纳米压痕技术的理论基础 | 第23-27页 |
| ·纳米压痕技术的应用 | 第27-29页 |
| 3 纳米压痕测量过程的有限元仿真 | 第29-40页 |
| ·非线性有限元软件ABAQUS 简介 | 第29-32页 |
| ·ABAQUS 程序概述 | 第30-31页 |
| ·ABAQUS 模块和分析步骤 | 第31-32页 |
| ·几何模型 | 第32-34页 |
| ·压头模型的几何形状 | 第33-34页 |
| ·被测试样的几何形状 | 第34页 |
| ·定义材料属性和生成装配件 | 第34-35页 |
| ·定义分析步及接触边界条件 | 第35-36页 |
| ·划分网格 | 第36-37页 |
| ·生成、运行作业 | 第37页 |
| ·有限元模型正确性验证 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 力学性能有限元仿真的结果分析 | 第40-58页 |
| ·应力-应变的计算 | 第40-43页 |
| ·载荷-位移曲线的拟合 | 第43-50页 |
| ·TiN 的载荷-位移曲线的拟合 | 第43-46页 |
| ·Ti-Si-N 的载荷-位移曲线的拟合 | 第46-49页 |
| ·TiN 和Ti-Si-N 的最终应力-应变曲线对比 | 第49-50页 |
| ·材料硬度的计算 | 第50-52页 |
| ·仿真结果分析 | 第52-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 在学研究成果 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |