混合氯硅烷酸性水解研究
摘要 | 第6-8页 |
Abstract | 第8-10页 |
第一章 绪论 | 第13-35页 |
1.1 研究背景 | 第13-18页 |
1.1.1 多晶硅生产工艺 | 第13-16页 |
1.1.2 氯硅烷废气和残液产生环节及成分 | 第16-18页 |
1.1.3 氯硅烷废气和残液的环境污染 | 第18页 |
1.2 氯硅烷废气和残液的处理研究进展 | 第18-28页 |
1.2.1 氯硅烷废气的处理方法 | 第18-22页 |
1.2.2 氯硅烷残液的处理方法 | 第22-28页 |
1.3 氯硅烷废气和残液的酸性水解基础理论 | 第28-31页 |
1.3.1 混合氯硅烷硅键性质 | 第28-29页 |
1.3.2 硅酸聚合理论 | 第29-30页 |
1.3.3 硅酸胶凝过程 | 第30-31页 |
1.4 混合氯硅烷酸性水解新方法提出及研究意义 | 第31-33页 |
1.4.1 混合氯硅烷酸性水解新方法的提出 | 第31-32页 |
1.4.2 研究意义 | 第32-33页 |
1.5 研究内容及创新点 | 第33-35页 |
1.5.1 研究内容 | 第33页 |
1.5.2 创新点 | 第33-35页 |
第二章 混合氯硅烷酸性水解过程机理研究 | 第35-55页 |
2.1 实验材料及仪器 | 第35-36页 |
2.1.1 实验材料 | 第35页 |
2.1.2 实验装置 | 第35页 |
2.1.3 分析仪器 | 第35-36页 |
2.2 实验方法 | 第36页 |
2.3 结果与讨论 | 第36-52页 |
2.3.1 混合氯硅烷水解条件研究 | 第36-45页 |
2.3.2 氯硅烷残液水解产物 | 第45-47页 |
2.3.3 混合氯硅烷酸性水解机理 | 第47-50页 |
2.3.4 混合氯硅烷酸性水解液胶凝机理 | 第50-52页 |
2.4 本章小结 | 第52-55页 |
第三章 水解产物二氧化硅特性研究 | 第55-73页 |
3.1 实验材料及仪器 | 第55-56页 |
3.1.1 实验材料 | 第55页 |
3.1.2 实验设备和仪器 | 第55-56页 |
3.2 实验方法 | 第56-58页 |
3.2.1 二氧化硅晶型和结构分析 | 第56页 |
3.2.2 二氧化硅微观形态特征分析 | 第56页 |
3.2.3 二氧化硅的亲水性测试 | 第56-57页 |
3.2.4 二氧化硅与水、盐酸和碱液反应性测试 | 第57页 |
3.2.5 二氧化硅悬浮液pH测定 | 第57页 |
3.2.6 二氧化硅热稳定性测试 | 第57-58页 |
3.3 实验结果与讨论 | 第58-72页 |
3.3.1 二氧化硅晶型和结构 | 第58-60页 |
3.3.2 二氧化硅微观形态特征 | 第60-63页 |
3.3.3 二氧化硅的表面活性 | 第63-67页 |
3.3.4 二氧化硅的热稳定性 | 第67-72页 |
3.4 本章小结 | 第72-73页 |
第四章 结论与展望 | 第73-75页 |
4.1 结论 | 第73-74页 |
4.2 展望 | 第74-75页 |
致谢 | 第75-77页 |
参考文献 | 第77-85页 |
附录A | 第85-86页 |