| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-28页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·DLC 膜的结构 | 第11-13页 |
| ·DLC 膜的制备 | 第13-18页 |
| ·离子束沉积技术 | 第13-14页 |
| ·离子束辅助沉积技术 | 第14-15页 |
| ·磁控溅射 | 第15-16页 |
| ·真空阴极弧沉积技术 | 第16页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积技术 | 第16-17页 |
| ·复合沉积技术 | 第17-18页 |
| ·DLC 膜的摩擦学性能 | 第18-26页 |
| ·薄膜成分对DLC 膜摩擦学性能的影响 | 第18-21页 |
| ·干摩擦条件下，速度及载荷对DLC 膜摩擦学性能的影响 | 第21-22页 |
| ·润滑条件对DLC 膜摩擦性性能的影响 | 第22-25页 |
| ·DLC 膜摩擦学机理研究 | 第25-26页 |
| ·论文研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 实验方法 | 第28-34页 |
| ·掺铬DLC 膜的制备 | 第28-29页 |
| ·镀膜设备 | 第28-29页 |
| ·镀膜工艺 | 第29页 |
| ·掺铬DLC 膜的表征 | 第29-30页 |
| ·表面形貌 | 第29页 |
| ·结构成分 | 第29-30页 |
| ·力学性能 | 第30页 |
| ·摩擦磨损试验 | 第30-34页 |
| 第三章 掺铬DLC 膜的表征 | 第34-46页 |
| ·靶电流对铬含量的影响 | 第34-35页 |
| ·表面缺陷分析 | 第35-39页 |
| ·成分及化学结合状态分析 | 第39-43页 |
| ·XPS 分析 | 第39-41页 |
| ·Raman 分析 | 第41-43页 |
| ·掺铬DLC 的力学性能分析 | 第43-45页 |
| ·DLC 膜的硬度及弹性模量 | 第43页 |
| ·DLC 膜的膜/基结合强度 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 干摩擦条件下掺铬 DLC 膜摩擦磨损性能的研究 | 第46-56页 |
| ·载荷对掺铬DLC 膜摩擦学性能影响 | 第46-50页 |
| ·滑动速度对掺铬DLC 膜摩擦学性能影响 | 第50-53页 |
| ·Cr 含量对掺铬DLC 膜摩擦学性能影响 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 油润滑条件下掺铬DLC 膜摩擦磨损性能的研究 | 第56-77页 |
| ·润滑条件对掺铬DLC 膜摩擦学行为的影响 | 第56-67页 |
| ·铬掺杂量对掺铬DLC 膜摩擦学性能的影响 | 第67-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 结论 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-84页 |
| 个人简历及研究成果 | 第84页 |
