| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| 1.1 引言 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-10页 |
| 1.3 本文的主要内容 | 第10-12页 |
| 第二章 空心激光辐照薄膜材料的基本理论 | 第12-21页 |
| 2.1 激光与物质相互作用理论基础 | 第12-13页 |
| 2.2 光学薄膜反射与透射特性 | 第13-16页 |
| 2.3 热传导及热应力基本理论 | 第16-21页 |
| 第三章 空心激光辐照薄膜材料的理论模型 | 第21-32页 |
| 3.1 空心激光束的分类 | 第21-22页 |
| 3.2 空心激光的理论模型 | 第22-23页 |
| 3.3 光学薄膜的物理建模 | 第23-24页 |
| 3.4 激光辐照光学薄膜产生热效应的有限元分析 | 第24-32页 |
| 第四章 空心激光辐照增透膜的数值模拟结果与分析 | 第32-41页 |
| 4.1 空心激光辐照以Ge为基底增透膜的温度场有限元模拟 | 第32-36页 |
| 4.2 空心激光辐照以Ge为基底增透膜的应力场有限元模拟 | 第36-40页 |
| 4.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第五章 空心激光辐照高反膜的数值模拟结果与分析 | 第41-48页 |
| 5.1 空心激光辐照以Ge为基底高反膜的温度场有限元模拟 | 第41-44页 |
| 5.2 空心激光辐照以Ge为基底高反膜的应力场有限元模拟 | 第44-47页 |
| 5.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 总结与展望 | 第48-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第53页 |
