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TiO2改性和等离子体处理α-Fe2O3薄膜的光电化学性质

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第12-33页
    1.1 自然、人工光合反应第13-18页
        1.1.1 自然光合作用基本原理第13-14页
        1.1.2 人工光合作用——半导体光催化基本原理第14-18页
    1.2 半导体光催化的研究现状及进展第18-23页
        1.2.1 传统金属氧化物半导体及改性第18-22页
        1.2.2 新型光催化剂材料第22-23页
    1.3 α-Fe_2O_3材料光催化性能研究及进展第23-30页
        1.3.1 α-Fe_2O_3的晶体、能带结构,光催化性能第23-25页
        1.3.2 影响氧化铁光电化学活性的主要因素第25页
        1.3.3 α-Fe_2O_3的改性第25-30页
    1.4 低温等离子体表面处理技术第30-32页
    1.5 研究目的及内容第32-33页
第2章 实验与分析方法第33-40页
    2.1 实验仪器及试剂第33-34页
        2.1.1 化学试剂第33-34页
        2.1.2 实验仪器第34页
    2.2 基底薄膜的制备第34-36页
        2.2.1 Fe薄膜、Sn掺杂Fe薄膜的制备第34-36页
        2.2.2 热氧化法制备α-Fe_2O_3薄膜及Sn掺杂α-Fe_2O_3薄膜第36页
    2.3 样品的结构表征及成分分析第36-37页
        2.3.1 薄膜膜厚的测量第36页
        2.3.2 场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)第36-37页
        2.3.3 透射电子显微镜(TEM)第37页
        2.3.4 X射线衍射(XRD)第37页
    2.4 样品光催化性能的表征第37-40页
        2.4.1 Uv-Vis光谱测试第37-38页
        2.4.2 电化学性能测试第38-40页
第3章 TiO_2表面修饰α-Fe_20_3、Sn掺杂α-Fe_20_3及其光电化学性能研究第40-60页
    3.1 引言第40-41页
    3.2 样品的制备第41-43页
        3.2.1 α-Fe_2O_3薄膜的制备第41-42页
        3.2.2 TiO_2表面修饰所得α-Fe_2O_3薄膜第42-43页
        3.2.3 Sn掺杂α-Fe_2O_3薄膜的制备第43页
        3.2.4 TiO_2表面修饰所得Sn掺杂α-Fe_2O_3薄膜第43页
    3.3 TiO_2表面修饰α-Fe_2O_3薄膜实验结果及分析第43-51页
        3.3.1 α-Fe_2O_3薄膜的厚度第43-44页
        3.3.2 TiO_2修饰Fe_2O_3薄膜的膜厚第44页
        3.3.3 TiO_2修饰层的XRD表征结果第44-45页
        3.3.4 不同厚度TiO_2修饰Fe_2O_3薄膜的XRD表征结果第45-46页
        3.3.5 不同厚度TiO_2修饰Fe_2O_3薄膜的SEM形貌第46-47页
        3.3.6 不同厚度TiO_2修饰Fe_2O_3薄膜的吸光度及禁带宽度分析第47-48页
        3.3.7 不同厚度TiO_2修饰Fe_2O_3薄膜的光电化学测试第48-51页
    3.4 Sn掺杂α-Fe_2O_3薄膜实验结果及分析第51-53页
        3.4.1 Sn掺杂对α-Fe_2O__3薄膜形貌的影响第51-52页
        3.4.2 Sn掺杂对α-Fe_2O_3薄膜吸光度的影响第52页
        3.4.3 Sn掺杂对α-Fe_2O_3薄膜光电性能的影响第52-53页
    3.5 TiO_2表面修饰Sn掺杂Fe_2O_3薄膜实验结果及分析第53-58页
        3.5.1 TiO_2修饰Sn掺杂Fe_2O_3薄膜的膜厚第53页
        3.5.2 不同厚度TiO_2修饰Sn掺杂Fe_2O_3薄膜的XRD表征结果第53-54页
        3.5.3 不同厚度TiO_2修饰Sn掺杂Fe_2O_3薄膜的高倍数扫描图像第54-55页
        3.5.4 不同厚度TiO_2修饰Sn掺杂Fe_2O_3薄膜的吸光度第55-56页
        3.5.5 不同厚度TiO_2修饰Sn掺杂Fe_2O_3薄膜的光电化学测试第56-58页
    3.6 本章小结第58-60页
第4章 α-Fe_2O_3表面等离子体处理的光电化学性质第60-78页
    4.1 引言第60-61页
    4.2 实验过程第61-62页
        4.2.1 Sn掺杂α-Fe_2O_3薄膜的制备第61页
        4.2.2 Ar等离子体对Sn掺杂Fe_2O_3薄膜的表面处理第61-62页
    4.3 不同腔体气压的等离子体处理对样品性能的影响第62-66页
        4.3.1 腔体气压对样品膜厚的影响第62-63页
        4.3.2 腔体气压对样品物相结构的影响第63页
        4.3.3 腔体气压对样品吸光度的影响第63-64页
        4 3.4 腔体气压对样品光电化学性能的影响第64-66页
    4.4 不同功率的等离子体处理对样品性能的影响第66-69页
        4.4.1 处理功率对样品膜厚的影响第66页
        4.4.2 处理功率对样品物相结构的影响第66-67页
        4.4.3 处理功率对样品吸光度的影响第67页
        4.4.4 处理功率对样品光电化学性能的影响第67-69页
    4.5 不同时间的等离子体处理对样品性能的影响第69-72页
        4.5.1 处理时间对样品膜厚的影响第69页
        4.5.2 处理时间对样品物相结构的影响第69-70页
        4.5.3 处理时间对样品吸光度的影响第70-71页
        4.5.4 处理时间对样品光电化学性能的影响第71-72页
    4.6 高分辨率SEM及TEM表征第72-77页
        4.6.1 代表性样品的SEM表征第73-75页
        4.6.2 经等离子体处理样品的TEM表征第75-77页
    4.7 本章小结第77-78页
第5章 结论第78-80页
参考文献第80-87页
致谢第87页

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