| 摘要 | 第9-11页 |
| ABSTRACT | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第13-28页 |
| 1.1 硒鼓 | 第13-14页 |
| 1.1.1 硒鼓的现状 | 第13页 |
| 1.1.2 废弃硒鼓的危害 | 第13页 |
| 1.1.3 硒鼓的组成 | 第13-14页 |
| 1.2 感光鼓 | 第14-18页 |
| 1.2.1 感光鼓的分类 | 第15-16页 |
| 1.2.2 感光鼓的结构 | 第16页 |
| 1.2.3 感光鼓的工作原理 | 第16-18页 |
| 1.3 类金刚石碳(DLC)膜 | 第18-26页 |
| 1.3.1 DLC膜的结构 | 第19页 |
| 1.3.2 DLC膜的分类 | 第19-20页 |
| 1.3.3 DLC膜的生长机理 | 第20-21页 |
| 1.3.4 DLC膜的制备方法 | 第21-23页 |
| 1.3.5 DLC膜的性能及应用 | 第23-24页 |
| 1.3.6 DLC膜存在的主要问题 | 第24-26页 |
| 1.4 课题研究背景及意义 | 第26页 |
| 1.5 本课题研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 实验方法与原理 | 第28-36页 |
| 2.1 实验方法 | 第28-30页 |
| 2.1.1 RF-PECVD的原理 | 第28-29页 |
| 2.1.2 RF-PECVD的特点 | 第29页 |
| 2.1.3 RF-PECVD的主要工艺参数 | 第29-30页 |
| 2.2 实验设备 | 第30-32页 |
| 2.3 实验材料 | 第32页 |
| 2.4 实验预处理 | 第32-33页 |
| 2.4.1 镀膜设备预处理 | 第32页 |
| 2.4.2 基板预处理 | 第32-33页 |
| 2.5 实验操作流程 | 第33-34页 |
| 2.6 实验表征方法 | 第34-36页 |
| 2.6.1 厚度分析 | 第34页 |
| 2.6.2 原子力显微镜(AFM)分析 | 第34-35页 |
| 2.6.3 拉曼光谱(Raman spectrum)分析 | 第35页 |
| 2.6.4 X射线光电子能谱仪(XPS)分析 | 第35页 |
| 2.6.5 透过率分析 | 第35页 |
| 2.6.6 摩擦性能分析 | 第35-36页 |
| 第三章 DLC膜的制备及分析 | 第36-58页 |
| 3.1 DLC膜的制备工艺参数 | 第36-37页 |
| 3.2 厚度分析 | 第37-40页 |
| 3.2.1 射频功率对DLC膜厚度的影响 | 第37-38页 |
| 3.2.2 反应气体流量对DLC膜厚度的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.3 沉积时间对DLC膜厚度的影响 | 第39-40页 |
| 3.3 表面形貌分析 | 第40-46页 |
| 3.3.1 基础真空度对DLC膜表面形貌的影响 | 第40-42页 |
| 3.3.2 射频功率对DLC膜表面形貌的影响 | 第42-43页 |
| 3.3.3 反应气体流量对DLC膜表面形貌的影响 | 第43-44页 |
| 3.3.4 沉积时间对DLC膜表面形貌的影响 | 第44-46页 |
| 3.4 拉曼光谱分析 | 第46-50页 |
| 3.5 XPS分析 | 第50-52页 |
| 3.6 透过率分析 | 第52-53页 |
| 3.7 摩擦性能分析 | 第53-56页 |
| 3.8 本章小结 | 第56-58页 |
| 第四章 感光鼓沉积DLC膜的制备工艺研究 | 第58-75页 |
| 4.1 PET表面沉积DLC膜 | 第58-61页 |
| 4.1.1 实验材料 | 第59页 |
| 4.1.2 实验工艺参数 | 第59-60页 |
| 4.1.3 结果分析 | 第60-61页 |
| 4.2 感光鼓表面沉积DLC膜 | 第61-73页 |
| 4.2.1 实验材料 | 第61-62页 |
| 4.2.2 实验工艺参数 | 第62-63页 |
| 4.2.3 摩擦性能分析 | 第63-68页 |
| 4.2.4 激光打印机中的使用寿命 | 第68-73页 |
| 4.3 本章小结 | 第73-75页 |
| 第五章 总结 | 第75-78页 |
| 5.1 本文结论 | 第75-77页 |
| 5.2 本文主要创新点 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及获得的奖励 | 第85-86页 |
| 附件 | 第86页 |