| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究的背景与意义 | 第10-12页 |
| 1.2 压电喷头及功能材料薄膜在器件中应用的研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 压电喷头技术的发展及其研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 功能材料薄膜及其在压电喷头中的应用 | 第14-16页 |
| 1.2.3 器件防护的研究现状 | 第16页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第16-18页 |
| 2 功能材料薄膜在压电喷头中应用的相关理论 | 第18-27页 |
| 2.1 压电效应与压电材料 | 第18-20页 |
| 2.1.1 压电效应 | 第18-19页 |
| 2.1.2 压电材料 | 第19-20页 |
| 2.2 薄膜材料内应力的测量与计算 | 第20-23页 |
| 2.2.1 薄膜内应力的测量方法 | 第20-21页 |
| 2.2.2 薄膜内应力测量的理论研究 | 第21-23页 |
| 2.3 膜基结合强度测试方法及其理论模型 | 第23-26页 |
| 2.3.1 十字切割法测量膜基结合强度 | 第23-24页 |
| 2.3.2 划痕法测量理论 | 第24-25页 |
| 2.3.3 垂直拉伸法及其理论模型 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 功能材料薄膜在压电喷头振动板中的应用研究 | 第27-37页 |
| 3.1 振动板的材料选择与制备工艺 | 第27-29页 |
| 3.1.1 振动板的材料选择 | 第27页 |
| 3.1.2 SiO_2的制备 | 第27-28页 |
| 3.1.3 SiN_x的制备 | 第28-29页 |
| 3.2 SiO_2/SiN_x复合振动板的仿真优化 | 第29-31页 |
| 3.3 振动板的残余应力分析优化 | 第31-36页 |
| 3.3.1 残余应力的产生机理 | 第31-32页 |
| 3.3.2 SiO_2/SiN_x复合振动板的残余应力优化 | 第32-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 4 压电喷头的防护与防护材料选择 | 第37-49页 |
| 4.1 压电喷头的防护 | 第37-38页 |
| 4.2 无机材料薄膜用于压电喷头的保护层 | 第38-40页 |
| 4.2.1 PZT薄膜用于压电喷头的保护层 | 第38-39页 |
| 4.2.2 SiN_x薄膜用于压电喷头的保护层 | 第39-40页 |
| 4.3 聚合物材料薄膜用于压电喷头的保护层 | 第40-41页 |
| 4.4 Parylene薄膜介绍 | 第41-45页 |
| 4.4.1 Parylene薄膜的分类 | 第41-42页 |
| 4.4.2 Parylene薄膜的制备 | 第42-45页 |
| 4.5 Parylene的性能分析实验 | 第45-48页 |
| 4.5.1 Parylene沉积的敷形性实验 | 第45-46页 |
| 4.5.2 Parylene的接触角测量 | 第46-47页 |
| 4.5.3 Parylene薄膜的耐腐蚀性能研究 | 第47-48页 |
| 4.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 Parylene在压电喷头防护中的应用研究 | 第49-75页 |
| 5.1 Parylene C薄膜的耐热性能研究 | 第49-53页 |
| 5.1.1 Parylene C的热重分析实验 | 第49-51页 |
| 5.1.2 Parylene C薄膜的差示扫描量热分析实验 | 第51-53页 |
| 5.2 Parylene薄膜的图形化方法研究 | 第53-60页 |
| 5.2.1 Parylene薄膜图形化方法的选择 | 第53-54页 |
| 5.2.2 Parylene的图形化刻蚀工艺 | 第54-56页 |
| 5.2.3 氧等离子体对Parylene进行图形化的刻蚀机理 | 第56-57页 |
| 5.2.4 刻蚀参数对Parylene刻蚀速率的影响 | 第57-59页 |
| 5.2.5 光刻胶掩膜旋涂厚度的确定 | 第59-60页 |
| 5.3 Parylene与基底结合强度的实验研究 | 第60-65页 |
| 5.3.1 提高Parylene与基底结合强度的方法研究 | 第61-62页 |
| 5.3.2 Parylene与基底结合强度的测量 | 第62-65页 |
| 5.4 Parylene C保护层沉积厚度的优化 | 第65-70页 |
| 5.4.1 模拟仿真 | 第66-67页 |
| 5.4.2 实验测试 | 第67-70页 |
| 5.5 Parylene C保护层的老化实验分析 | 第70-72页 |
| 5.6 喷墨测试分析 | 第72-73页 |
| 5.7 本章小结 | 第73-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
