| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 薄膜结合强度测试的研究现状 | 第11-20页 |
| 1.2.1 拉伸法 | 第12-14页 |
| 1.2.2 压痕法 | 第14-17页 |
| 1.2.3 离心力法和超声波测试法 | 第17-18页 |
| 1.2.4 划痕法 | 第18-20页 |
| 1.3 硬质薄膜失效形式 | 第20-22页 |
| 1.3.1 拉应力失效模式 | 第20-21页 |
| 1.3.2 压应力失效模式 | 第21-22页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第22-25页 |
| 第二章 划痕作用下硬质薄膜的失效分析 | 第25-34页 |
| 2.1 膜/基体系应力应变半球型模型 | 第25-26页 |
| 2.2 常见的硬质薄膜失效形式 | 第26-32页 |
| 2.2.1 薄膜的断裂 | 第27-29页 |
| 2.2.2 薄膜的剥落 | 第29-31页 |
| 2.2.3 薄膜与基体结合体系的内聚力失效 | 第31-32页 |
| 2.3 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 划痕仪的校准及标准物质的验证测试 | 第34-42页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 划痕仪位移因子和载荷因子的校准 | 第34-38页 |
| 3.2.1 位移因子的校准 | 第36-37页 |
| 3.2.2 载荷因子的校准 | 第37-38页 |
| 3.3 对DLC薄膜标准物质的划痕测试 | 第38-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 类金刚石薄膜划痕测试研究 | 第42-70页 |
| 4.1 引言 | 第42-43页 |
| 4.2 薄膜制备及表征 | 第43-49页 |
| 4.2.1 薄膜制备 | 第43页 |
| 4.2.2 薄膜表征 | 第43-49页 |
| 4.2.2.1 薄膜结构 | 第43-45页 |
| 4.2.2.2 膜/基界面结合体系复合硬度 | 第45-49页 |
| 4.3 划痕测试结果与分析 | 第49-61页 |
| 4.3.1 Si基体系列样品A划痕实验结果分析 | 第49-55页 |
| 4.3.2 304不锈钢基体系列样品B划痕实验结果分析 | 第55-61页 |
| 4.4 不同曲率半径压头对薄膜划痕实验的影响研究 | 第61-69页 |
| 4.4.1 样品A2的划痕测试结果与分析 | 第62-65页 |
| 4.4.2 样品B3的划痕测试结果与分析 | 第65-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 典型金属软膜类结合体系的划痕测试研究 | 第70-77页 |
| 5.1 引言 | 第70页 |
| 5.2 Au/Ni/Cu膜/基复合界面结合体系的划痕测试研究 | 第70-74页 |
| 5.2.1 Au/Ni膜/基界面结合体系的划痕测试研究 | 第70-72页 |
| 5.2.2 Ni/Cu膜/基界面结合体系的划痕测试研究 | 第72-74页 |
| 5.3 Au/Ni/Si膜/基界面结合体系的划痕测试研究 | 第74-75页 |
| 5.4 本章小结 | 第75-77页 |
| 第六章 全文结论与展望 | 第77-79页 |
| 6.1 全文总结 | 第77-78页 |
| 6.2 展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第87页 |
