| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第8页 |
| 1.2 硬质涂层材料的制备 | 第8-13页 |
| 1.2.1 化学气相沉积（CVD） | 第10页 |
| 1.2.2 物理气相沉积（PVD） | 第10-13页 |
| 1.3.2.1 真空蒸发镀膜技术 | 第11页 |
| 1.2.2.2 真空离子镀 | 第11-12页 |
| 1.2.2.3 真空溅射镀 | 第12-13页 |
| 1.3 磁控溅射沉积技术的发展与原理 | 第13-15页 |
| 1.3.1 磁控溅射技术发展状况 | 第13-14页 |
| 1.3.2 磁控溅射技术原理 | 第14-15页 |
| 1.3.3 溅射镀膜的工艺参数 | 第15页 |
| 1.4 TiN涂层及其合金化 | 第15-17页 |
| 1.4.1 TiN涂层结构与性能 | 第15-17页 |
| 1.4.2 TiAlN涂层结构与性能 | 第17页 |
| 1.5 选题依据及研究内容 | 第17-19页 |
| 1.5.1 选题依据 | 第17-18页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 实验方案及方法 | 第19-29页 |
| 2.1 实验材料 | 第19页 |
| 2.1.1 304 不锈钢 | 第19页 |
| 2.2 实验前预处理 | 第19-20页 |
| 2.3 实验设备 | 第20-21页 |
| 2.4 TiN基涂层的制备 | 第21-22页 |
| 2.4.1 Ti/TiN涂层工艺的研究 | 第21-22页 |
| 2.4.2 Ti/TiN/TiAlN涂层的制备 | 第22页 |
| 2.5 涂层的表征 | 第22-29页 |
| 2.5.1 物相分析 | 第22-23页 |
| 2.5.2 扫描电子显微镜（SEM） | 第23-24页 |
| 2.5.3 扫描探针显微镜分析 | 第24-25页 |
| 2.5.4 三维轮廓仪 | 第25-26页 |
| 2.5.5 显微硬度 | 第26页 |
| 2.5.6 结合力测试 | 第26-28页 |
| 2.5.7 摩擦磨损表征 | 第28-29页 |
| 第三章 304不锈钢表面沉积Ti/TiN涂层的结构及性能研究 | 第29-54页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 氮气含量对Ti/TiN涂层组织结构及力学性能的影响 | 第29-37页 |
| 3.2.1 Ti/TiN涂层的物相组成的影响 | 第29-30页 |
| 3.2.2 Ti/TiN涂层表面形貌的影响 | 第30-32页 |
| 3.2.3 Ti/TiN涂层显微硬度的影响 | 第32页 |
| 3.2.4 Ti/TiN涂层摩擦性能的影响 | 第32-35页 |
| 3.2.5 Ti/TiN涂层膜基结合力的影响 | 第35-36页 |
| 3.2.6 小结 | 第36-37页 |
| 3.3 沉积时间对Ti/TiN涂层组织结构及力学性能的影响 | 第37-42页 |
| 3.3.1 Ti/TiN涂层的物相组成的影响 | 第37-38页 |
| 3.3.2 Ti/TiN涂层表面形貌的影响 | 第38-39页 |
| 3.3.3 Ti/TiN涂层显微硬度的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.4 Ti/TiN涂层摩擦性能的影响 | 第40-41页 |
| 3.3.5 Ti/TiN涂层膜基结合力的影响 | 第41-42页 |
| 3.3.6 小结 | 第42页 |
| 3.4 基体偏压对Ti/TiN涂层组织结构及力学性能的影响 | 第42-48页 |
| 3.4.1 Ti/TiN涂层的物相组成的影响 | 第42-43页 |
| 3.4.2 Ti/TiN涂层表面形貌的影响 | 第43-44页 |
| 3.4.3 Ti/TiN涂层显微硬度的影响 | 第44-45页 |
| 3.4.4 Ti/TiN涂层摩擦性能的影响 | 第45-47页 |
| 3.4.5 Ti/TiN涂层膜基结合力的影响 | 第47页 |
| 3.4.6 小结 | 第47-48页 |
| 3.5 基体温度对Ti/TiN涂层组织结构及力学性能的影响 | 第48-54页 |
| 3.5.1 Ti/TiN涂层的物相组成的影响 | 第48页 |
| 3.5.2 Ti/TiN涂层表面形貌的影响 | 第48-50页 |
| 3.5.3 Ti/TiN涂层显微硬度的影响 | 第50-51页 |
| 3.5.4 Ti/TiN涂层摩擦性能的影响 | 第51-52页 |
| 3.5.6 Ti/TiN涂层膜基结合力的影响 | 第52-53页 |
| 3.5.7 小结 | 第53-54页 |
| 第四章 304不锈钢表面沉积Ti/TiN/TiAlN涂层的结构及性能研究 | 第54-60页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 Ti/TiN/TiAlN涂层的物相组成的影响 | 第54-55页 |
| 4.3 Ti/TiN/TiAlN涂层表面形貌的影响 | 第55-56页 |
| 4.4 Ti/TiN/TiAlN涂层摩擦性能的影响 | 第56-58页 |
| 4.5 Ti/TiN/TiAlN涂层显微硬度的影响 | 第58-59页 |
| 4.6 本章结论 | 第59-60页 |
| 第五章 600℃高温退火热处理对TiAlN涂层性能的影响 | 第60-65页 |
| 5.1 引言 | 第60-61页 |
| 5.2 600℃高温退火热处理对TiAlN涂层结构和性能的影响 | 第61-64页 |
| 5.2.1 热处理前后的物相组成的影响 | 第61页 |
| 5.2.2 热处理前后的表面形貌的影响 | 第61-62页 |
| 5.2.3 热处理前后的显微硬度的影响 | 第62-63页 |
| 5.2.4 热处理前后的摩擦性能的影响 | 第63页 |
| 5.2.5 热处理前后的结合力的影响 | 第63-64页 |
| 5.3 小结 | 第64-65页 |
| 结束语 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第70-71页 |
