单晶铌酸锂薄膜的光学常数以及Y分支波导的研究
中文摘要 | 第7-9页 |
ABSTRACT | 第9-12页 |
符号说明 | 第13-14页 |
第一章 绪论 | 第14-22页 |
1.1 研究背景、意义与研究现状 | 第14-18页 |
1.2 本文主要研究内容及章节安排 | 第18-19页 |
参考文献 | 第19-22页 |
第二章 基本理论和实验方法 | 第22-40页 |
2.1 光波导的基本理论 | 第23-25页 |
2.2 钛扩散光波导 | 第25-27页 |
2.3 弯曲损耗 | 第27-30页 |
2.4 行波电光调制器 | 第30-33页 |
2.5 离子注入与直接键合技术 | 第33-35页 |
2.6 棱镜耦合 | 第35-37页 |
参考文献 | 第37-40页 |
第三章 单晶铌酸锂薄膜光学常数及厚度的研究 | 第40-53页 |
3.1 单晶铌酸锂薄膜的制备 | 第41-43页 |
3.2 包络法计算单晶铌酸锂薄膜光学常数及厚度 | 第43-50页 |
3.3 棱镜耦合仪测薄膜折射率及厚度 | 第50-52页 |
参考文献 | 第52-53页 |
第四章 单晶铌酸锂薄膜中钛扩散Y分支波导 | 第53-67页 |
4.1 钛扩散光波导的结构设计 | 第54-58页 |
4.2 钛扩散条形光波导 | 第58-63页 |
4.3 钛扩散Y分支波导 | 第63-66页 |
参考文献 | 第66-67页 |
第五章 总结 | 第67-70页 |
5.1 主要研究结果 | 第68-69页 |
5.2 主要创新点 | 第69-70页 |
攻读硕士学位期间发表的论文及获得的奖励 | 第70-71页 |
致谢 | 第71-72页 |
学位论文评阅及答辩情况表 | 第72页 |