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单晶铌酸锂薄膜的光学常数以及Y分支波导的研究

中文摘要第7-9页
ABSTRACT第9-12页
符号说明第13-14页
第一章 绪论第14-22页
    1.1 研究背景、意义与研究现状第14-18页
    1.2 本文主要研究内容及章节安排第18-19页
    参考文献第19-22页
第二章 基本理论和实验方法第22-40页
    2.1 光波导的基本理论第23-25页
    2.2 钛扩散光波导第25-27页
    2.3 弯曲损耗第27-30页
    2.4 行波电光调制器第30-33页
    2.5 离子注入与直接键合技术第33-35页
    2.6 棱镜耦合第35-37页
    参考文献第37-40页
第三章 单晶铌酸锂薄膜光学常数及厚度的研究第40-53页
    3.1 单晶铌酸锂薄膜的制备第41-43页
    3.2 包络法计算单晶铌酸锂薄膜光学常数及厚度第43-50页
    3.3 棱镜耦合仪测薄膜折射率及厚度第50-52页
    参考文献第52-53页
第四章 单晶铌酸锂薄膜中钛扩散Y分支波导第53-67页
    4.1 钛扩散光波导的结构设计第54-58页
    4.2 钛扩散条形光波导第58-63页
    4.3 钛扩散Y分支波导第63-66页
    参考文献第66-67页
第五章 总结第67-70页
    5.1 主要研究结果第68-69页
    5.2 主要创新点第69-70页
攻读硕士学位期间发表的论文及获得的奖励第70-71页
致谢第71-72页
学位论文评阅及答辩情况表第72页

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