| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1 引言 | 第10页 |
| 2 研究背景 | 第10-15页 |
| 3 国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 4 论文的研究目的及主要内容 | 第18-19页 |
| 5 本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 矢量衍射理论和时域有限差分方法 | 第20-29页 |
| 1 矢量瑞利-索莫菲衍射理论 | 第20-23页 |
| 2 时域有限差分方法 | 第23-28页 |
| ·FDTD的基本点 | 第24-25页 |
| ·麦克斯韦方程及其FDTD形式 | 第25-28页 |
| 3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 深刻蚀菲涅尔波带片的衍射 | 第29-41页 |
| 1 二元相位厚菲涅尔波带片的衍射理论 | 第29-36页 |
| ·波带片脊区电场的表达式 | 第30-32页 |
| ·波带片缝区电场的表达式 | 第32-36页 |
| 2 数值结果和讨论 | 第36-40页 |
| 3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 FZP的聚焦特性与入射方向和刻蚀深度的相关性 | 第41-47页 |
| 1 理论模型 | 第41-42页 |
| 2 入射方向对FZP聚焦特性的影响 | 第42-43页 |
| 3 刻蚀深度对FZP聚焦特性的影响 | 第43-46页 |
| 4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 总结和展望 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第53页 |