| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 1 绪论 | 第12-32页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·薄膜晶体管基本介绍 | 第13-19页 |
| ·薄膜晶体管的工作原理 | 第13-15页 |
| ·薄膜晶体管的性能参数 | 第15-17页 |
| ·薄膜晶体管的分类 | 第17-19页 |
| ·氧化物薄膜晶体管的介绍 | 第19-22页 |
| ·氧化物薄膜晶体管的优势 | 第19-20页 |
| ·氧化物薄膜晶体管的研究历史 | 第20-22页 |
| ·双电层薄膜晶体管 | 第22-30页 |
| ·离子调控及双电层效应 | 第22-23页 |
| ·双电层薄膜晶体管的研究进展 | 第23-27页 |
| ·双电层薄膜晶体管的应用 | 第27-30页 |
| ·本文的选题依据及主要内容 | 第30-32页 |
| 2 InZnO双电层薄膜晶体管的研制及性能分析 | 第32-50页 |
| ·引言 | 第32-33页 |
| ·实验部分 | 第33-37页 |
| ·实验材料及设备 | 第33-34页 |
| ·衬底的清洗 | 第34页 |
| ·壳聚糖薄膜的制备 | 第34-35页 |
| ·InZnO/壳聚糖/ITO电容及InZnO双电层薄膜晶体管的研制 | 第35-37页 |
| ·测试及结果分析 | 第37-49页 |
| ·壳聚糖的质子导电特性及双电层效应分析 | 第37-39页 |
| ·InZnO双电层薄膜晶体管的性能测试及结果分析 | 第39-47页 |
| ·大气湿度对器件性能的影响 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 3 InZnO双电层薄膜晶体管在低压反相器中的应用 | 第50-58页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·实验过程 | 第50-51页 |
| ·实验器材及测试设备 | 第50页 |
| ·低压电阻负载型反相器的制作 | 第50-51页 |
| ·反相器性能测试及结果分析 | 第51-57页 |
| ·反相器的电压传输特性曲线及静态性能参数 | 第51-54页 |
| ·低压反相器的动态响应行为 | 第54-55页 |
| ·低压反相器在信号处理中的应用 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 4 双栅InZnO双电层薄膜晶体管的研究 | 第58-66页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·实验部分 | 第58-61页 |
| ·实验材料及设备 | 第58-59页 |
| ·衬底的清洗 | 第59页 |
| ·壳聚糖薄膜的制备 | 第59页 |
| ·双栅InZnO双电层薄膜晶体管的研制 | 第59-60页 |
| ·双栅InZnO晶体管电阻负载型反相器的制作 | 第60-61页 |
| ·实验结果讨论 | 第61-65页 |
| ·壳聚糖薄膜在外电场作用下的双电层效应测试 | 第61-62页 |
| ·壳聚糖栅介质双栅InZnO-TFT的电学性能测试 | 第62-63页 |
| ·反相器的传输特性曲线及分析 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 5 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·结论 | 第66-67页 |
| ·创新点 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-78页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
