| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-23页 |
| ·光滤波器概述 | 第8-10页 |
| ·可调谐光滤波器 | 第10-16页 |
| ·介质膜型干涉光滤波器 | 第10-11页 |
| ·马赫-泽德干涉型光滤波器 | 第11-12页 |
| ·基于F-P 腔的光滤波器 | 第12-13页 |
| ·基于光栅的光滤波器 | 第13-16页 |
| ·MEMS 技术 | 第16-20页 |
| ·MEMS 的结构与特点 | 第17-18页 |
| ·MEMS 的原理 | 第18-20页 |
| ·MEMS 在光通信系统中的应用 | 第20页 |
| ·本论文的研究工作 | 第20-23页 |
| ·本论文的研究目的及意义 | 第21页 |
| ·本论文的创新点 | 第21-22页 |
| ·本论文的主要内容 | 第22-23页 |
| 第2章 MEMS 可调谐光滤波器的基本原理 | 第23-39页 |
| ·光栅的分光原理 | 第23-30页 |
| ·光栅的分类 | 第23-24页 |
| ·光栅的性能 | 第24-30页 |
| ·高斯光束的基本原理 | 第30-37页 |
| ·高斯光束的传输规律 | 第30-32页 |
| ·高斯光束的特征参数 | 第32-35页 |
| ·高斯光束经透镜后的变换 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第3章 MEMS 可调谐光滤波器的结构设计 | 第39-48页 |
| ·基本结构 | 第39-40页 |
| ·光路分析 | 第40-44页 |
| ·光束转换结构 | 第40-42页 |
| ·MEMS 转角计算 | 第42-43页 |
| ·光斑计算 | 第43-44页 |
| ·光谱分析 | 第44-46页 |
| ·理论带宽计算 | 第44-46页 |
| ·计算机模拟带宽计算 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 MEMS 可调谐光滤波器的ZEMAX 软件仿真 | 第48-53页 |
| ·ZEMAX 简介 | 第48-49页 |
| ·ZEMAX 仿真流程 | 第49-50页 |
| ·ZEMAX 设计步骤 | 第50-51页 |
| ·ZEMAX 实体模型 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 MEMS 可调谐光滤波器的性能测试 | 第53-59页 |
| ·测试平台 | 第53-54页 |
| ·插入损耗（IL） | 第54-56页 |
| ·波长相关损耗（WDL） | 第56-57页 |
| ·偏振相关损耗（PDL） | 第57-58页 |
| ·带宽 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第6章 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·本论文工作总结 | 第59-60页 |
| ·对研究工作的展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第64-65页 |
| 附录2 主要英文缩写语对照表 | 第65页 |