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石墨烯基和氧化锌基多层薄膜的气相沉积法制备及性能研究

摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第1章 绪论第11-39页
   ·石墨烯的研究背景第11-28页
     ·石墨烯的结构第11-12页
     ·石墨烯的特性第12-15页
     ·石墨烯的应用第15-19页
     ·石墨烯的主要制备方法第19-28页
   ·石墨烯-TiO_2复合薄膜材料的研究背景第28-32页
     ·石墨烯基复合材料的应用第28-31页
     ·石墨烯-TiO_2复合材料的制备方法第31-32页
   ·ZnO/Cu/ZnO 透明导电薄膜的研究背景第32-37页
     ·透明导电薄膜的特性第32-33页
     ·透明导电薄膜的应用第33页
     ·透明导电薄膜的研究现状第33-36页
     ·ZnO 夹金属透明导电薄膜的研究现状第36-37页
   ·本论文主要研究内容第37-39页
第2章 材料的制备和表征第39-49页
 引言第39页
   ·等离子体增强化学气相沉积技术第39-41页
     ·等离子体增强化学气相沉积薄膜原理第39-40页
     ·等离子体增强化学气相沉积设备简介第40-41页
   ·磁控溅射技术第41-44页
     ·磁控溅射沉积薄膜原理第41-42页
     ·磁控溅射设备简介第42-44页
   ·样品的表征第44-49页
第3章 石墨烯的等离子体增强化学气相沉积法制备及性能研究第49-63页
 引言第49-50页
   ·实验部分第50-52页
   ·生长温度对石墨烯的影响第52-58页
   ·CH_4流量对石墨烯的影响第58-60页
   ·H_2流量对石墨烯的影响第60-62页
   ·本章小结第62-63页
第4章 石墨烯-TiO_2多层薄膜的制备及性能研究第63-79页
 引言第63-64页
   ·实验部分第64-66页
   ·PECVD 石墨烯薄膜特征第66-68页
   ·石墨烯与 TiO_2之间的电荷转移第68-71页
   ·石墨烯对 TiO_2晶体结构的影响第71-72页
   ·石墨烯对 TiO_2表面形貌的影响第72-74页
   ·石墨烯对 TiO_2光催化性能的影响第74-76页
   ·本章小结第76-79页
第5章 :ZnO/Cu/ZnO 多层薄膜的结构优化和光电性能研究第79-93页
 引言第79-80页
   ·实验部分第80页
   ·理论模拟优化结构第80-82页
   ·ZnO 层厚度变化对膜系光电性能的影响第82-85页
   ·Cu 层厚度变化对膜系光电性能的影响第85-88页
   ·O_2/Ar 流量比率对膜系光电性能的影响第88-92页
   ·本章小结第92-93页
第6章 总结第93-95页
参考文献第95-119页
在学期间所取得的科研成果第119-120页
致谢第120页

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