| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-11页 |
| 1 计量圆光栅及应用综述 | 第11-28页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·计量圆光栅及其术语 | 第12-13页 |
| ·计量圆光栅应用现状 | 第13-23页 |
| ·角度数字测量 | 第14-18页 |
| ·运动比较测量 | 第18-22页 |
| ·传动轴的扭转角测量 | 第22-23页 |
| ·计量圆光栅技术的发展动向及关键技术 | 第23-25页 |
| ·进一步提高圆光栅母板的制造精度及分辨力 | 第24页 |
| ·计量圆光栅向微型化发展 | 第24页 |
| ·计量圆光栅的制造向系列化低成本方向发展 | 第24页 |
| ·适用于恶劣的工作环境 | 第24页 |
| ·圆光栅分度误差检测设备及检测方法 | 第24-25页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第25-28页 |
| 2 计量圆光栅的原理及关键技术研究 | 第28-69页 |
| ·计量圆光栅莫尔条纹原理 | 第28-32页 |
| ·莫尔条纹的几何特性 | 第28-29页 |
| ·莫尔条纹测量位移的原理及特点 | 第29-32页 |
| ·计量圆光栅的莫尔方程 | 第32-42页 |
| ·计量圆光栅的理想莫尔方程 | 第32-35页 |
| ·计量圆光栅的实际莫尔信号 | 第35-42页 |
| ·计量圆光栅的莫尔光场及莫尔条纹 | 第42-55页 |
| ·计量圆光栅的莫尔光场 | 第42-45页 |
| ·计量圆光栅无偏心时的莫尔条纹 | 第45-48页 |
| ·计量圆光栅偏心放置时的莫尔条纹 | 第48-55页 |
| ·计量圆光栅及系统关键问题研究 | 第55-60页 |
| ·判向原理及高分辨力判向电路 | 第55-59页 |
| ·计量圆光栅的光电信号检测器 | 第59页 |
| ·计量圆光栅测量系统的光源 | 第59-60页 |
| ·计量圆光栅测量系统温度漂移误差分析 | 第60-67页 |
| ·温度漂移分析 | 第60-62页 |
| ·直流电平误差分析 | 第62-63页 |
| ·高精度补偿电路设计 | 第63-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 3 计量圆光栅制造技术研究 | 第69-106页 |
| ·计量圆光栅光刻技术现状 | 第69-70页 |
| ·相移强度叠加光刻方法研究 | 第70-78页 |
| ·概述 | 第70页 |
| ·相移强度叠加光刻法原理 | 第70-71页 |
| ·理论分析 | 第71-75页 |
| ·多透镜光刻系统各参数的选择 | 第75-77页 |
| ·柱面式“蜂窝”透镜光刻系统 | 第77-78页 |
| ·相移强度叠加光刻法实验结果分析 | 第78页 |
| ·圆光栅的零位设计与研制 | 第78-86页 |
| ·圆光栅零位原理概述 | 第78-79页 |
| ·对零位光栅的要求 | 第79-81页 |
| ·零位光栅的参数设计 | 第81-82页 |
| ·零位光栅栅线序列的计算机模拟设计 | 第82-85页 |
| ·零位光栅的刻制 | 第85-86页 |
| ·圆光栅光刻乳胶分析与应用研究 | 第86-97页 |
| ·超微粒乳胶的基本性能与特性曲线 | 第86-88页 |
| ·超微粒圆光栅盘的调制传递函数MTF | 第88-90页 |
| ·超微粒乳胶的光学传递函数 | 第90-92页 |
| ·提高超微粒乳剂分辨力研究 | 第92-95页 |
| ·超微粒乳胶涂布工艺研究 | 第95-97页 |
| ·圆光栅理想环形莫尔条纹的光刻研究 | 第97-104页 |
| ·光刻不通过中心的圆光栅概要 | 第97-98页 |
| ·圆光栅环形莫尔条纹的偏心计算 | 第98-101页 |
| ·圆光栅光刻偏心调试方法研究 | 第101-103页 |
| ·圆光栅光刻偏心调试误差分析 | 第103-104页 |
| ·本章小结 | 第104-106页 |
| 4 计量光栅的质量评定与误差检测方法研究 | 第106-125页 |
| ·计量圆光栅的质量指标 | 第106-107页 |
| ·直径误差 | 第106-107页 |
| ·均匀性误差 | 第107页 |
| ·辅助性质量指标 | 第107页 |
| ·光栅信号质量综合评定方法研究 | 第107-114页 |
| ·谐波分析法评定光栅信号质量的原理分析 | 第107-109页 |
| ·小波分析法评定光栅信号质量的基本原理 | 第109-113页 |
| ·小波分析实验 | 第113-114页 |
| ·计量圆光栅分度误差检测系统与方法概述 | 第114-117页 |
| ·检测系统 | 第114-115页 |
| ·检测方法 | 第115-117页 |
| ·提高计量圆光栅分度误差检测精度的方法研究 | 第117-123页 |
| ·重复测量法 | 第117-118页 |
| ·转位测量法 | 第118-122页 |
| ·计量圆光栅分度误差采样间隔的选取 | 第122-123页 |
| ·本章小结 | 第123-125页 |
| 5 计量圆光栅分度误差检测系统及应用研究 | 第125-162页 |
| ·圆光栅分度误差实时检测系统 | 第125-128页 |
| ·数据采集系统研究 | 第128-147页 |
| ·系统概述 | 第128-131页 |
| ·数据采集系统硬件电路设计 | 第131-143页 |
| ·数据采集系统软件设计 | 第143-147页 |
| ·数据处理系统研究 | 第147-156页 |
| ·数据处理系统主要测量功能 | 第147-148页 |
| ·数据处理系统概述 | 第148-150页 |
| ·数据处理系统软件设计 | 第150-156页 |
| ·系统抗干扰研究 | 第156-157页 |
| ·看门狗定时器内部复位法 | 第156页 |
| ·接地及印制板抗干扰技术 | 第156页 |
| ·数字滤波技术 | 第156-157页 |
| ·圆光栅分度误差实时检测系统应用研究 | 第157-161页 |
| ·本章小结 | 第161-162页 |
| 6 全文总结 | 第162-167页 |
| ·全文总结 | 第162-164页 |
| ·展望 | 第164-167页 |
| 致 谢 | 第167-168页 |
| 参 考 文 献 | 第168-174页 |
| 附录:作者攻读博士学位期间发表的学术论文、获基金资助等 | 第174-176页 |