| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 插图和附表清单 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| ·课题背景 | 第11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-16页 |
| ·具有曲率突变特征的微结构的接触式测量技术 | 第12-13页 |
| ·具有曲率突变特征的微结构的光学/扫描电子等非接触式测量技术 | 第13-14页 |
| ·具有曲率突变特征的微结构形貌超精密测量的评述及策略 | 第14-16页 |
| ·课题研究内容 | 第16-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第2章 自主研发大面积、高深宽比STM系统 | 第19-33页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·扫描隧道显徽系统原理介绍 | 第19-22页 |
| ·扫描钨丝探针制作仿真及装置 | 第22-25页 |
| ·微动台及PZT性能参数测试 | 第25-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 测量基准坐标系调整与参数估计 | 第33-47页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·测量数据处理以及基准坐标系调整 | 第33-38页 |
| ·数据前处理 | 第33-35页 |
| ·面形特征点描述 | 第35-38页 |
| ·典型微结构测量实验以及参数估计 | 第38-46页 |
| ·平面双正弦光栅样品测量实验及参数评定 | 第38-44页 |
| ·深沟槽微结构样品测量实验及参数评定 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 双倾测量技术研究与应用 | 第47-55页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·双倾测量技术研究 | 第47-50页 |
| ·具有垂直侧壁的微结构测量实验 | 第50-54页 |
| ·传统扫描方式测量实验 | 第50-51页 |
| ·双倾扫描模式测量结果拼接实验 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 测头机构两级联动伺服控制应用 | 第55-63页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·扫描隧道显微系统测头机构 | 第55-57页 |
| ·两级联动伺服控制 | 第57-60页 |
| ·联动伺服控制系统流程 | 第57-59页 |
| ·回程误差估计与补偿 | 第59-60页 |
| ·百微米高台阶测量实验 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第6章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·结论 | 第63-64页 |
| ·展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士期间成果 | 第69页 |