| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·大平面测量方法简介及关键技术 | 第12-18页 |
| ·大平面测量方法简介 | 第12-13页 |
| ·关键技术 | 第13-18页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 三平面互检法的理论研究 | 第20-31页 |
| ·传统的三平面互检法 | 第21页 |
| ·三平面互检法发展中的重要观点 | 第21-25页 |
| ·平面对称观点 | 第22页 |
| ·旋转对称观点 | 第22-23页 |
| ·奇偶函数观点 | 第23-24页 |
| ·N位平均的近似算法 | 第24页 |
| ·zernike多项式法 | 第24-25页 |
| ·改进的三平面互检法 | 第25-31页 |
| ·实现纵向和横向两个方向测量的初步改进 | 第25-28页 |
| ·实现三维面型测量的改进 | 第28-31页 |
| 3 改进方法测量的实现 | 第31-39页 |
| ·ZYGO干涉仪简介 | 第31-32页 |
| ·仪器设备改造 | 第32-35页 |
| ·整体改造 | 第32页 |
| ·局部改造 | 第32-34页 |
| ·光路校准 | 第34-35页 |
| ·matlab软件简介 | 第35页 |
| ·算法程序化设计 | 第35-39页 |
| ·对.xyz格式文件进行读取 | 第36页 |
| ·对读取的数据进行拟合 | 第36-37页 |
| ·对拟合后的数据按照改进方法的算法进行处理 | 第37-38页 |
| ·最终的测量数据拟合成三维面型 | 第38-39页 |
| 4 实验及数据处理、比对与误差分析 | 第39-44页 |
| ·采集实验数据 | 第39-40页 |
| ·数据处理得到改进方法测得最终结果 | 第40-41页 |
| ·ZYGO干涉仪自带"three-flat"程序测量 | 第41-42页 |
| ·改进方法测得结果处理 | 第42页 |
| ·数据比对及误差分析 | 第42-44页 |
| 5 设计对照实验 | 第44-65页 |
| ·对照实验一 | 第44-55页 |
| ·对照实验二 | 第55-65页 |
| 6 结论 | 第65-68页 |
| ·结论 | 第65页 |
| ·后期工作展望 | 第65-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-76页 |
| 附录 | 第76-77页 |