基于钠光干涉的透明体表面形貌测量系统的研究
| 摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| ·常用三维形貌测量光学方法 | 第14-19页 |
| ·三角法 | 第14页 |
| ·莫尔条纹等高法 | 第14-15页 |
| ·条纹相位法 | 第15-19页 |
| ·变形条纹产生 | 第15-17页 |
| ·干涉条纹法 | 第15-16页 |
| ·投影栅线法 | 第16-17页 |
| ·相位解调方法 | 第17-19页 |
| ·相移法 | 第17-18页 |
| ·傅里叶变换法 | 第18-19页 |
| ·相位去包裹 | 第19页 |
| ·相移法目前研究热点 | 第19-20页 |
| ·相移器 | 第19-20页 |
| ·相位解调算法 | 第20页 |
| ·相位去包裹 | 第20页 |
| ·课题研究意义 | 第20页 |
| ·课题主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·小结 | 第21-22页 |
| 第二章 相移周期自动检测方法 | 第22-34页 |
| ·相关性算法 | 第22-23页 |
| ·信噪比算法 | 第23-24页 |
| ·仿真 | 第24-30页 |
| ·不同相移步长的仿真计算 | 第25-28页 |
| ·不同周期的仿真计算 | 第28-30页 |
| ·两种算法的比较 | 第30-33页 |
| ·仿真图像计算结果的对比 | 第30-31页 |
| ·实验图像计算结果的对比 | 第31-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 第三章 相移器可重复性的验证和改进 | 第34-42页 |
| ·验证相移器可重复性的实验方法和条件 | 第34-35页 |
| ·可重复性实验的数据分析 | 第35-36页 |
| ·相移器可重复性差的原因分析 | 第36-38页 |
| ·相移器的改进方案 | 第38-39页 |
| ·验证改进后相移器的可重复性 | 第39-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 第四章 钠光干涉与激光干涉的对比 | 第42-51页 |
| ·等厚干涉相移图像的采集 | 第42-43页 |
| ·相移周期的确定 | 第43-45页 |
| ·解相位 | 第45-46页 |
| ·相位去包裹 | 第46-49页 |
| ·三维重建 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第五章 测量系统的整体设计 | 第51-67页 |
| ·硬件系统 | 第51-62页 |
| ·样品固定夹具 | 第51-52页 |
| ·压电陶瓷 | 第52-54页 |
| ·压电陶瓷驱动电源 | 第54-59页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的分类 | 第54-56页 |
| ·电压控制型 | 第54-55页 |
| ·电荷(流)控制型 | 第55页 |
| ·混合控制型 | 第55-56页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的整体设计 | 第56-57页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的核心电路 | 第57-58页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的联机功能 | 第58页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的实物照片 | 第58-59页 |
| ·CCD摄像机 | 第59-61页 |
| ·显微镜 | 第61-62页 |
| ·软件系统 | 第62-66页 |
| ·数据的自动采集模块 | 第63-64页 |
| ·数据的后续处理模块 | 第64-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结 | 第67-69页 |
| ·主要工作 | 第67页 |
| ·创新点 | 第67-68页 |
| ·前景展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第74页 |
