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铍表面钒膜制备技术及其性能表征

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-6页
目录第6-8页
第一章 绪论第8-17页
   ·铍、钒物理特性第8-9页
     ·铍第8-9页
     ·钒第9页
   ·薄膜沉积第9-13页
     ·薄膜的真空沉积法第9-11页
     ·薄膜的生长理论第11-12页
     ·钒膜的制备方法第12-13页
   ·铍表面改性研究现状第13-14页
   ·铍钒相容性研究第14-15页
   ·钒在液态金属Li中的腐蚀性能第15-16页
   ·总结第16-17页
第二章 铍表面钒膜的磁控溅射法制备第17-34页
   ·实验方法第17-19页
     ·磁控溅射法第17-18页
     ·样品分析方法第18页
     ·样品制备第18-19页
   ·靶基距对薄膜微观结构的影响第19-24页
     ·薄膜的相结构分析第20-22页
     ·薄膜的表面形貌分析第22-24页
     ·薄膜的截面形貌分析第24页
   ·基底偏压对钒膜微观结构的影响第24-29页
     ·不同偏压条件下磁控溅射沉积钒膜的相结构第25-26页
     ·不同偏压条件下沉积钒膜的表面形貌第26-28页
     ·不同偏压条件下Si(111)面磁控溅射沉积钒膜的截面形貌第28-29页
   ·靶功率对钒膜微观结构的影响第29-31页
     ·不同靶功率条件下沉积钒膜的相结构第29-30页
     ·不同靶功率条件下沉积钒膜的表面形貌第30-31页
     ·不同功率条件下磁控溅射沉积钒膜的截面分析第31页
   ·工艺过程影响钒镀层微观组织结构的机理第31-33页
   ·小结第33-34页
第三章 钒涂层的冷喷涂法制备第34-38页
   ·冷喷涂工艺的发展第34页
   ·冷喷涂制备钒涂层的初步实验第34-37页
     ·涂层制备第34-36页
     ·钒涂层的结构分析第36-37页
   ·小结第37-38页
第四章 铍钒界面及其在高温下的互扩散性能第38-46页
   ·磁控溅射沉积铍表面钒膜界面研究第38-41页
   ·HIP处理后的铍钒界面研究第41-43页
     ·HIP方法简介第41页
     ·HIP处理后铍钒界面分析第41-43页
   ·高温扩散系数的理论计算第43-45页
   ·小结第45-46页
第五章 铍表面溅射沉积钒膜在液态金属锂中的熔蚀性能第46-51页
   ·熔蚀实验设计第46-47页
   ·擦蚀后的分析结果第47-50页
   ·小结第50-51页
第六章 结论第51-52页
致谢第52-53页
参考文献第53-56页
论文的创新点第56-57页
攻读硕士学位期间发表论文及参加学术会议情况第57页

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