磁控溅射电源关键技术的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 前言 | 第8-15页 |
| ·磁控溅射技术综述 | 第8-11页 |
| ·磁控溅射的基本原理和特点 | 第8-9页 |
| ·磁控溅射技术的发展和现状 | 第9-11页 |
| ·磁控溅射电源技术的发展现状 | 第11-13页 |
| ·磁控溅射电源的应用情况 | 第11-12页 |
| ·磁控溅射电源设计的主要问题和关键技术 | 第12-13页 |
| ·本课题的意义和主要研究内容 | 第13-15页 |
| ·论文的选题依据及意义 | 第13页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 磁控溅射等离子体负载特性的研究 | 第15-22页 |
| ·等离子体的基本特征 | 第15-16页 |
| ·磁控溅射等离子体负载特性及宏观模型 | 第16-20页 |
| ·等效电路的建立 | 第16-17页 |
| ·等效电阻的分析 | 第17-18页 |
| ·等效电容的分析 | 第18-19页 |
| ·双向等效电路的分析 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-22页 |
| 3 磁控溅射脉冲电源的关键技术 | 第22-36页 |
| ·传统磁控溅射脉冲电源主拓扑 | 第22-23页 |
| ·启动技术 | 第23-25页 |
| ·稳定输出技术 | 第25-28页 |
| ·多路输出技术 | 第28-29页 |
| ·软开关技术 | 第29-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 磁控溅射脉冲电源的设计 | 第36-43页 |
| ·电源整体设计方案 | 第36-38页 |
| ·主电路的参数设计 | 第38-42页 |
| ·输入滤波电容的选择 | 第38-39页 |
| ·谐振电感的选择 | 第39-40页 |
| ·输出滤波电感的选择 | 第40-41页 |
| ·输出滤波电容的选择 | 第41页 |
| ·谐振电感的选择 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 5 磁控溅射脉冲电源的仿真与实验 | 第43-52页 |
| ·关键部分的仿真与实验结果 | 第43-49页 |
| ·启动模块 | 第43-44页 |
| ·续流电路 | 第44-46页 |
| ·多路输出拓扑 | 第46-47页 |
| ·ZVS的实现效果 | 第47-49页 |
| ·电源系统的闭环仿真 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 6 总结与展望 | 第52-55页 |
| ·主要研究成果和结论 | 第52-53页 |
| ·展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |
