大气等离子体抛光系统设计及实验研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章 绪论	第9-16页
·课题来源	第9页
·本课题的研究目的和意义	第9-10页
·国内外研究现状综述	第10-15页
·现有超光滑表面加工方法及其存在的问题分析	第10-13页
·大气等离子体抛光的国内外研究现状	第13-15页
·本课题主要研究的内容	第15-16页
第2章 大气等离子体抛光系统设计	第16-30页
·大气等离子体抛光系统总体方案设计	第16-17页
·大气等离子体抛光系统各组成部分设计	第17-29页
·射频电源及阻抗匹配网络	第17-20页
·气体供应系统	第20-22页
·等离子体炬的设计	第22-25页
·密封工作舱及工作台设计	第25-28页
·尾气处理系统及冷却系统	第28-29页
·系统调试	第29页
·本章小结	第29-30页
第3章 大气等离子体抛光机理及其实验研究	第30-42页
·等离子体抛光的反应原理	第30-33页
·等离子体的电离激发机制	第30-31页
·等离子体与材料表面的相互作用	第31-32页
·大气等离子抛光反应过程分析	第32-33页
·放电参数对反应粒子浓度的影响研究	第33-39页
·射频输入功率对反应粒子浓度影响的实验研究	第34-36页
·气体配比对反应粒子浓度影响的实验研究	第36-37页
·放电间隙对反应粒子浓度影响的实验研究	第37-39页
·大气等离子体抛光实验	第39-40页
·本章小结	第40-42页
第4章 抛光过程中沉积问题研究	第42-54页
·沉积物的成分分析	第42-45页
·避免沉积物生成的实验研究	第45-51页
·沉积物的成因分析	第51-52页
·实验验证	第52-53页
·本章小结	第53-54页
结论	第54-55页
参考文献	第55-58页
攻读学位期间发表的学术论文	第58-60页
致谢	第60页