大口径非球面数字刀口仪测试技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 图表索引 | 第12-15页 |
| 1 绪论 | 第15-34页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·国内外非球面检测技术现状与发展趋势 | 第15-31页 |
| ·轮廓法 | 第16-17页 |
| ·干涉法 | 第17-22页 |
| ·大口径非球面干涉检测的其他方法 | 第22-26页 |
| ·计算全息法 | 第26-27页 |
| ·原子力显微镜检测法 | 第27-29页 |
| ·哈特曼-夏克检测法 | 第29-30页 |
| ·刀口法 | 第30-31页 |
| ·本论文主要研究工作 | 第31-34页 |
| 2 数字刀口仪设计方案 | 第34-60页 |
| ·刀口仪工作原理 | 第35-38页 |
| ·理想球面波的阴影图及其变化规律 | 第35-36页 |
| ·球面上有局部变形的阴影图 | 第36页 |
| ·刀口阴影判断准则 | 第36-37页 |
| ·有带区误差的阴影图 | 第37-38页 |
| ·数字刀口仪实现方法 | 第38-46页 |
| ·数字刀口仪定量计算的理论基础 | 第38-39页 |
| ·数字刀口仪设计思想 | 第39-42页 |
| ·非球面光学元件的分类及其特点 | 第42-44页 |
| ·数字刀口仪测量光学元件面形时的结构安排 | 第44-46页 |
| ·数字刀口仪光源设计 | 第46-50页 |
| ·光源设计方案 | 第46-48页 |
| ·光源结构设计 | 第48-50页 |
| ·数字刀口仪刀口设计 | 第50-53页 |
| ·刀口结构设计 | 第50-51页 |
| ·刀口转动部分结构设计 | 第51页 |
| ·刀口X-Y-Z平移部分结构设计 | 第51-53页 |
| ·图像接收器件CCD的选择 | 第53-54页 |
| ·计算软件设计 | 第54-59页 |
| ·刀口测试模块 | 第55-56页 |
| ·径向波差模块 | 第56-57页 |
| ·三维波差模块 | 第57-58页 |
| ·测试结论模块 | 第58-59页 |
| ·软件测量过程 | 第59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 3 数字刀口仪面形定量分析理论计算 | 第60-88页 |
| ·几何像差的产生与定义 | 第61-65页 |
| ·球差 | 第61-62页 |
| ·彗差 | 第62-63页 |
| ·像散 | 第63-64页 |
| ·奇变 | 第64-65页 |
| ·数字刀口仪灵敏度分析 | 第65-69页 |
| ·离焦产生的波像差 | 第65-67页 |
| ·离焦产生的波像差补偿方法 | 第67-69页 |
| ·数字刀口仪暗阈值分析方法 | 第69-81页 |
| ·理论研究 | 第69-71页 |
| ·曲线拟合 | 第71页 |
| ·CCD像素灰度的典型变化 | 第71-73页 |
| ·波尔兹曼数据处理模型 | 第73-74页 |
| ·函数逼近处理方法 | 第74-76页 |
| ·最小二乘法数据拟合 | 第76-77页 |
| ·分割数据法曲线拟合 | 第77-80页 |
| ·软件实现方法 | 第80-81页 |
| ·数字刀口仪面形重构 | 第81-86页 |
| ·球差的刀口阴影图 | 第82-84页 |
| ·CCD图像离散化 | 第84页 |
| ·参考面的获取方法 | 第84-85页 |
| ·面形重构 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 4 数字刀口仪测量实验 | 第88-103页 |
| ·数字刀口仪工作过程 | 第88-92页 |
| ·被测光学元件的调整 | 第88-90页 |
| ·CCD的调整 | 第90页 |
| ·刀口的调整 | 第90-92页 |
| ·实验装置图 | 第92-94页 |
| ·数字刀口仪光学元件面形检测结果 | 第94-101页 |
| ·球面测量结果 | 第94-99页 |
| ·数字刀口仪抛物面测量结果 | 第99-101页 |
| ·本章小结 | 第101-103页 |
| 5 误差分析 | 第103-107页 |
| ·数字刀口仪不确定度分析 | 第103-104页 |
| ·A类不确定度 | 第104-105页 |
| ·B类不确定度 | 第105-106页 |
| ·扩展不确定度 | 第106页 |
| ·本章小结 | 第106-107页 |
| 6 结论与展望 | 第107-111页 |
| ·非球面光学元件的加工难点 | 第107-108页 |
| ·本论文完成的主要工作 | 第108-109页 |
| ·主要创新点 | 第109-110页 |
| ·进一步改进方面 | 第110-111页 |
| 攻博期间发表的论文 | 第111-112页 |
| 致谢 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-119页 |
