| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-41页 |
| ·课题背景 | 第14-15页 |
| ·BCN材料的研究现状 | 第15-33页 |
| ·BCN材料的理论研究 | 第15-24页 |
| ·BCN薄膜的制备技术 | 第24-27页 |
| ·BCN材料的表征 | 第27-28页 |
| ·BCN薄膜的性能研究 | 第28-33页 |
| ·纳米摩擦学性能 | 第33-39页 |
| ·纳米摩擦学的提出和特点 | 第33-34页 |
| ·纳米摩擦学的研究内容和研究方法 | 第34-36页 |
| ·纳米摩擦学的研究进展 | 第36-38页 |
| ·BCN薄膜的摩擦磨损行为研究现状及存在的问题 | 第38-39页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第39-41页 |
| 第2章 薄膜制备及研究方法 | 第41-54页 |
| ·BCN薄膜的制备 | 第41-49页 |
| ·基体材料及试验气体 | 第41页 |
| ·靶材组成及结构 | 第41-42页 |
| ·试验设备 | 第42-44页 |
| ·BCN薄膜制备工艺参数的设计和选择 | 第44-48页 |
| ·BCN薄膜制备过程 | 第48-49页 |
| ·分析方法及手段 | 第49-54页 |
| ·组织结构分析 | 第49页 |
| ·薄膜成分及键结构分析 | 第49-50页 |
| ·表面形貌观察及表面粗糙度测试 | 第50页 |
| ·纳米力学性能分析 | 第50-51页 |
| ·纳米摩擦磨损试验 | 第51-52页 |
| ·薄膜厚度测试 | 第52页 |
| ·压痕和磨痕形貌观察 | 第52-54页 |
| 第3章 BCN薄膜的结构及形成机制 | 第54-78页 |
| ·引言 | 第54-55页 |
| ·靶表面磁场状态对BCN膜成分和结构的影响 | 第55-59页 |
| ·气体成分对BCN膜成分和结构的影响 | 第59-66页 |
| ·气体成分对B_4C单靶制备的BCN膜成分和结构的影响 | 第59-62页 |
| ·气体成分对复合靶制备的BCN膜成分和结构的影响 | 第62-66页 |
| ·粒子流密度和能量对BCN膜成分和结构的影响 | 第66-68页 |
| ·轰击能量对BCN膜成分和结构的影响 | 第68-71页 |
| ·沉积温度对BCN膜成分和结构的影响 | 第71-74页 |
| ·BCN薄膜的形成机制和成键规律 | 第74-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第4章 BCN膜的纳米力学性能 | 第78-89页 |
| ·引言 | 第78页 |
| ·靶表面磁场状态对BCN膜纳米力学性能的影响 | 第78-79页 |
| ·气体成分对BCN膜纳米力学性能的影响 | 第79-83页 |
| ·粒子流密度和能量对BCN膜纳米力学性能的影响 | 第83-84页 |
| ·轰击能量对BCN膜纳米力学性能的影响 | 第84-86页 |
| ·沉积温度对BCN膜纳米力学性能的影响 | 第86-87页 |
| ·BCN薄膜纳米力学性能的影响因素 | 第87-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第5章 BCN膜的纳米摩擦磨损行为 | 第89-118页 |
| ·前言 | 第89页 |
| ·靶表面磁场状态对BCN膜纳米摩擦学性能的影响 | 第89-94页 |
| ·气体成分对BCN膜纳米摩擦学性能的影响 | 第94-103页 |
| ·粒子流密度和能量变化对BCN膜纳米摩擦学性能的影响 | 第103-107页 |
| ·基体偏压对BCN膜纳米摩擦学性能的影响 | 第107-111页 |
| ·沉积温度对BCN膜纳米摩擦学性能的影响 | 第111-112页 |
| ·BCN薄膜纳米尺度摩擦磨损机制 | 第112-117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 第6章 BCN膜的高温稳定性 | 第118-129页 |
| ·引言 | 第118页 |
| ·退火工艺参数 | 第118-119页 |
| ·真空环境下BCN膜的高温稳定性 | 第119-123页 |
| ·真空退火温度对BCN膜结构的影响 | 第119-120页 |
| ·真空退火温度对BCN膜纳米力学性能的影响 | 第120-121页 |
| ·真空退火温度对BCN膜纳米摩擦学的影响 | 第121-123页 |
| ·大气环境下BCN膜的高温稳定性 | 第123-128页 |
| ·空气退火温度对BCN膜结构的影响 | 第123-124页 |
| ·空气退火温度对BCN膜纳米力学性能的影响 | 第124-125页 |
| ·空气退火温度对BCN膜纳米摩擦学的影响 | 第125-128页 |
| ·本章小结 | 第128-129页 |
| 结论 | 第129-131页 |
| 参考文献 | 第131-147页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第147-149页 |
| 致谢 | 第149-150页 |
| 个人简历 | 第150页 |