| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| ·BST 薄膜的特点和应用 | 第9-10页 |
| ·BST 薄膜微波参数测试研究现状 | 第10-13页 |
| ·论文的研究意义 | 第13页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 2 共面波导法测试的理论基础 | 第14-30页 |
| ·微波传输线理论 | 第14-17页 |
| ·传输线的电路模型 | 第14-16页 |
| ·传输线的特性参数 | 第16-17页 |
| ·共面波导的微波传输特点 | 第17-21页 |
| ·阻抗匹配和S 参数（散射参数） | 第21-24页 |
| ·TRL 校准技术 | 第24-27页 |
| ·电磁算法 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 共面波导结构的仿真、设计、版图设计与测试平台 | 第30-56页 |
| ·共面波导结构的模拟仿真 | 第30-35页 |
| ·电磁仿真软件的选择 | 第30-31页 |
| ·HFSS 仿真CPW 结构的设置 | 第31-35页 |
| ·CPW 测试结构的设计 | 第35-49页 |
| ·基片材料的选择 | 第35-36页 |
| ·其他介质层的选择 | 第36-38页 |
| ·BST 薄膜介电常数及厚度对CPW 微波传输的影响 | 第38-39页 |
| ·金属导体材料选择及其厚度的设计 | 第39-42页 |
| ·接地面宽度w 对CPW 传输性质的影响及设计 | 第42-45页 |
| ·CPW 的s，g 参数设计 | 第45-49页 |
| ·TRL 校准件的设计 | 第49-52页 |
| ·测试结构的版图设计 | 第52-53页 |
| ·CPW 实物制备的半导体工艺 | 第53-54页 |
| ·CPW 结构的在片测试平台 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 4 BST 微波参数的计算和误差分析 | 第56-71页 |
| ·直流偏压对CPW 的S 参数的影响 | 第56-58页 |
| ·保角映射法计算BST 薄膜微波参数 | 第58-61页 |
| ·保角映射法计算和HFSS 模拟结果比较 | 第61-63页 |
| ·BST 微波介电参数测量的误差分析 | 第63-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 5 总结和展望 | 第71-72页 |
| ·总结 | 第71页 |
| ·展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |