硅片传输机器人磁流体密封的研究与设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·论文选题背景和课题来源 | 第9-10页 |
| ·国内外硅片传输机器人的发展与研究现状 | 第10-14页 |
| ·国外硅片传输机器人的研究现状 | 第11-13页 |
| ·国内硅片传输机器人的研究现状 | 第13-14页 |
| ·国内外磁流体密封技术的发展与研究现状 | 第14-16页 |
| ·磁流体及其密封的发展概况 | 第14-15页 |
| ·国内外磁流体密封技术的研究现状 | 第15-16页 |
| ·磁流体密封技术存在的问题 | 第16页 |
| ·论文主要研究内容 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 2 磁流体与磁流体密封理论 | 第18-31页 |
| ·磁流体的组成及其应用 | 第18-21页 |
| ·磁流体的组成 | 第18页 |
| ·磁流体的基本特性 | 第18-20页 |
| ·磁流体的典型应用 | 第20-21页 |
| ·磁流体密封的工作原理 | 第21-22页 |
| ·磁流体密封理论 | 第22-30页 |
| ·磁性微粒受力分析 | 第23-25页 |
| ·磁流体的伯努利方程 | 第25-26页 |
| ·磁流体静密封的耐压公式 | 第26-28页 |
| ·磁流体旋转密封的耐压公式 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 磁流体密封结构的磁场分析 | 第31-47页 |
| ·电磁场的有限元计算方法 | 第31-32页 |
| ·磁流体密封结构的磁场计算 | 第32-40页 |
| ·数学模型 | 第32-34页 |
| ·磁场求解过程 | 第34-37页 |
| ·计算结果分析 | 第37-40页 |
| ·磁流体密封结构参数的设计 | 第40-46页 |
| ·永磁体尺寸设计 | 第40-41页 |
| ·矩形磁极齿形结构参数设计 | 第41-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 4 磁流体密封的实验研究 | 第47-56页 |
| ·磁流体密封实验装置的设计 | 第47-51页 |
| ·磁流体轴封装置的设计 | 第48-50页 |
| ·调速装置的设计 | 第50-51页 |
| ·实验内容与结果分析 | 第51-55页 |
| ·磁场强度对密封能力的影响 | 第51-52页 |
| ·密封间隙对密封性能的影响 | 第52-53页 |
| ·转速对密封性能的影响 | 第53页 |
| ·多极多级密封耐压能力实验 | 第53-54页 |
| ·磁场方向对多极多级密封性能的影响 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 磁流体密封技术在硅片传输机器人上的应用 | 第56-65页 |
| ·硅片传输机器人的总体方案 | 第56-57页 |
| ·同心双轴磁流体密封装置的设计 | 第57-59页 |
| ·真空机械手臂的方案设计 | 第59-62页 |
| ·真空机械手臂径向直线伸缩运动 | 第60-61页 |
| ·真空机械手臂圆周旋转运动 | 第61-62页 |
| ·真空机械手臂与同心双轴磁流体密封装置的整合 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
