| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-18页 |
| ·表面等离子体 | 第7-12页 |
| ·表面等离子体的色散 | 第8-10页 |
| ·两种激发表面等离子体的方式 | 第10-12页 |
| ·光子晶体结构 | 第12-16页 |
| ·光子晶体结构理论研究方法时域有限差分法(FDTD) | 第14-16页 |
| ·基于二维光子晶体结构的SPR效应在红外光源领域的应用 | 第16-17页 |
| ·基于二维光子晶体结构的SPR效应在人免疫球蛋白生物分子检测的应用研究 | 第17页 |
| ·本文的安排 | 第17-18页 |
| 第二章 基于光子晶体结构的SPR器件的设计，加工及其辐射特性研究 | 第18-32页 |
| ·新型基于光子晶体结构的SPR-MEMS器件的加工 | 第18-22页 |
| ·基于光子晶体结构的SPR器件的设计因素 | 第18-19页 |
| ·新型基于光子晶体结构的SPR-MEMS器件的设计与加工 | 第19-21页 |
| ·关键技术 | 第21-22页 |
| ·结果与讨论 | 第22-30页 |
| ·晶格常数与SPR共振峰的关系 | 第23-24页 |
| ·占空比与SPR共振峰强度的关系 | 第24-25页 |
| ·红外反射谱与圆孔排列形状的关系 | 第25-26页 |
| ·缺陷对SPR共振峰的影响 | 第26页 |
| ·中间介质层对SPR效应特性的影响 | 第26-27页 |
| ·入射光入射界面对SPR的影响 | 第27-29页 |
| ·中间介质层对SPR效应的影响 | 第29-30页 |
| ·工艺误差分析 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 新型的SPR-MEMS红外光源的设计和制作 | 第32-51页 |
| ·MEMS红外光源的重要意义 | 第32页 |
| ·MEMS红外气体传感体系 | 第32-33页 |
| ·传统红外气体探测 | 第33页 |
| ·MEMS化——红外气体探测发展趋势 | 第33页 |
| ·MEMS红外光源 | 第33-40页 |
| ·传统红外光源 | 第33-36页 |
| ·MEMS红外光源 | 第36页 |
| ·本项目已设计加工MEMS红外光源 | 第36-40页 |
| ·SPR红外辐射源的研究现状 | 第40-42页 |
| ·新型SPR效应的MEMS红外光源的设计与加工 | 第42-50页 |
| ·光源材料和结构的选择 | 第43-48页 |
| ·工艺过程 | 第48-50页 |
| ·总结 | 第50-51页 |
| 第四章 基于光子晶体结构的表面等离子体生物分子检测 | 第51-61页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·生物分子检测 | 第51-52页 |
| ·表面等离子体生物传感器 | 第52-55页 |
| ·实验与测试 | 第55-59页 |
| ·实验结果 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 基于该芯片制作的水凝胶可调谐光子晶体 | 第61-68页 |
| ·序言 | 第61页 |
| ·可调谐光子晶体 | 第61-63页 |
| ·实验方案 | 第63-64页 |
| ·实验流程 | 第64-68页 |
| 全文总结 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
