聚合物平面光波导集成技术的基础研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-31页 |
| ·光电子集成技术 | 第14-16页 |
| ·光波导集成材料 | 第16-18页 |
| ·光波导制备方法 | 第18-21页 |
| ·光波导集成技术和方法 | 第21-28页 |
| ·新型的光波导结构 | 第21-23页 |
| ·光波导的耦合方法 | 第23-25页 |
| ·光波导的集成技术 | 第25-28页 |
| ·本论文的主要工作 | 第28-31页 |
| 第2章 聚合物光波导器件的材料研究 | 第31-52页 |
| ·聚合物光波导器件的衬底材料 | 第31页 |
| ·紫外固化聚合物 NOA 材料 | 第31-36页 |
| ·NOA 材料的干法刻蚀 | 第36-38页 |
| ·NOA 材料的紫外纳米压印 | 第38-52页 |
| ·纳米压印模板的制备 | 第39-45页 |
| ·纳米压印波导的制备 | 第45-46页 |
| ·纳米压印端面的处理 | 第46-52页 |
| 第3章 聚合物无源光波导器件的设计制备 | 第52-71页 |
| ·聚合物光波导延迟线器件 | 第52-63页 |
| ·光波导延迟线的研究进展 | 第52-54页 |
| ·交叉型光波导延迟线的模拟设计 | 第54-58页 |
| ·交叉型光波导延迟线实验制备 | 第58-63页 |
| ·两边刻槽脊型光波导器件的设计制备 | 第63-66页 |
| ·脊型光波导的设计制备 | 第63-65页 |
| ·两边刻槽的脊形光波导的制备 | 第65-66页 |
| ·柔性聚合物光波导的设计制备 | 第66-68页 |
| ·纳米压印无源器件的制备 | 第68-71页 |
| 第4章 聚合物微流控光波导器件 | 第71-82页 |
| ·微流控制备光波导 | 第71-74页 |
| ·光流控的基础研究 | 第74-82页 |
| ·光流控的发展 | 第74-75页 |
| ·光漂白制备光流控芯片 | 第75-78页 |
| ·准分子刻蚀光流控芯片 | 第78-80页 |
| ·光流控液体波导的制备 | 第80-82页 |
| 第5章 聚合物有源光波导器件的设计制备 | 第82-93页 |
| ·有源聚合物器件电极的制备 | 第82-88页 |
| ·柔性薄膜上电极的制备 | 第82-84页 |
| ·剥离法制备铝电极 | 第84-86页 |
| ·ITO 电极的湿法刻蚀 | 第86-88页 |
| ·聚合物柔性热光器件的制备 | 第88页 |
| ·电光聚合物柔性波导的制备 | 第88-90页 |
| ·柔性光波导放大器的制备 | 第90-93页 |
| 第6章 有机无机混合集成器件 | 第93-105页 |
| ·掺铒磷酸盐玻璃光波导器件 | 第93-97页 |
| ·磷酸盐玻璃的制备 | 第93-95页 |
| ·磷酸盐光波导的制备 | 第95-97页 |
| ·损耗补偿器件的设计制备 | 第97-101页 |
| ·集成光波导放大器的设计 | 第101-103页 |
| ·柔性波导输入输出的设计 | 第103-105页 |
| 第7章 总结和展望 | 第105-115页 |
| ·聚合光波导集成技术的阶段性进展 | 第105-113页 |
| ·波导反射镜的制备 | 第105-107页 |
| ·垂直混合集成的工艺探索 | 第107-109页 |
| ·灰度光刻和梯度刻蚀 | 第109-111页 |
| ·液态固化技术 | 第111-112页 |
| ·玻璃基光波导传感器的设计 | 第112-113页 |
| ·总结展望 | 第113-115页 |
| 博士期间取得的研究成果 | 第115-117页 |
| 致谢 | 第117-118页 |
| 参考文献 | 第118-123页 |
