新型噁二唑类缓蚀剂的合成及缓蚀性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·缓蚀剂的作用机理 | 第9-11页 |
| ·吸附型缓蚀剂的缓蚀吸附行为研究 | 第11-13页 |
| ·缓蚀剂的构效相关性 | 第13-14页 |
| ·酸性介质缓蚀剂 | 第14-17页 |
| ·立题意义和研究内容 | 第17-18页 |
| 2 噁二唑类缓蚀剂的合成 | 第18-24页 |
| ·引言 | 第18-19页 |
| ·噁二唑缓蚀剂HPOX的合成及表征 | 第19-20页 |
| ·噁二唑缓蚀剂HOX的合成机理 | 第20-21页 |
| ·噁二唑缓蚀剂HOX的合成 | 第21-22页 |
| ·噁二唑缓蚀剂HOX的表征 | 第22-24页 |
| 3 噁二唑缓蚀剂的缓蚀性能测定 | 第24-36页 |
| ·实验方法 | 第24-25页 |
| ·腐蚀失重测试结果及讨论 | 第25-30页 |
| ·极化曲线测试结果及讨论 | 第30-33页 |
| ·交流阻抗谱测试结果及讨论 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 缓蚀剂HOX的吸附行为研究 | 第36-41页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·红外反射(ATR)测试 | 第36-38页 |
| ·缓蚀剂HOX的吸附等温式 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 5 结论和展望 | 第41-43页 |
| 致谢 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-48页 |
| 附录 攻读学位期间发表的学术论文 | 第48页 |