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新型噁二唑类缓蚀剂的合成及缓蚀性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-18页
   ·引言第8-9页
   ·缓蚀剂的作用机理第9-11页
   ·吸附型缓蚀剂的缓蚀吸附行为研究第11-13页
   ·缓蚀剂的构效相关性第13-14页
   ·酸性介质缓蚀剂第14-17页
   ·立题意义和研究内容第17-18页
2 噁二唑类缓蚀剂的合成第18-24页
   ·引言第18-19页
   ·噁二唑缓蚀剂HPOX的合成及表征第19-20页
   ·噁二唑缓蚀剂HOX的合成机理第20-21页
   ·噁二唑缓蚀剂HOX的合成第21-22页
   ·噁二唑缓蚀剂HOX的表征第22-24页
3 噁二唑缓蚀剂的缓蚀性能测定第24-36页
   ·实验方法第24-25页
   ·腐蚀失重测试结果及讨论第25-30页
   ·极化曲线测试结果及讨论第30-33页
   ·交流阻抗谱测试结果及讨论第33-35页
   ·本章小结第35-36页
4 缓蚀剂HOX的吸附行为研究第36-41页
   ·引言第36页
   ·红外反射(ATR)测试第36-38页
   ·缓蚀剂HOX的吸附等温式第38-40页
   ·本章小结第40-41页
5 结论和展望第41-43页
致谢第43-44页
参考文献第44-48页
附录 攻读学位期间发表的学术论文第48页

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