| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| ·非晶薄膜材料概述 | 第9-12页 |
| ·非晶薄膜概况 | 第9-10页 |
| ·非晶薄膜的制备方法 | 第10-12页 |
| ·光电效应 | 第12-16页 |
| ·光电传感器 | 第12-14页 |
| ·光伏材料 | 第14-16页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第16-20页 |
| ·太阳能电池性能参数 | 第20-23页 |
| ·本论文的工作内容 | 第23-25页 |
| 第二章 样品的制备与表征方法 | 第25-31页 |
| ·非晶碳膜的制备 | 第25-27页 |
| ·镀膜设备及原理 | 第25-26页 |
| ·靶材的制备 | 第26页 |
| ·基片的选取和预处理 | 第26页 |
| ·具体沉积过程 | 第26-27页 |
| ·常用的样品表征方法 | 第27-29页 |
| ·样品表面形貌常用的测量方法 | 第27-28页 |
| ·样品微结构常用的测量方法 | 第28-29页 |
| ·样品厚度常用的测量方法 | 第29页 |
| ·样品电学性能的测量方法 | 第29-30页 |
| ·光伏特性的测量方法 | 第30页 |
| ·光敏特性的测量方法 | 第30页 |
| ·光诱导电阻效应的测量方法 | 第30-31页 |
| 第三章 实验结果分析与讨论 | 第31-53页 |
| ·钯掺杂的非晶碳膜/二氧化硅/硅光伏特性的研究 | 第31-40页 |
| ·碳基光伏电池的研究现状及其应用前景 | 第31-32页 |
| ·样品准备及实验方法 | 第32页 |
| ·薄膜的表征与结构 | 第32-34页 |
| ·结果与讨论 | 第34-38页 |
| ·结论 | 第38-40页 |
| ·钯掺杂的非晶碳膜/二氧化硅/硅的光电导率 | 第40-46页 |
| ·研究现状与应用前景 | 第40页 |
| ·样品准备及实验方法 | 第40-41页 |
| ·结果与讨论 | 第41-44页 |
| ·结论 | 第44-46页 |
| ·钯掺杂的非晶碳膜/二氧化硅/硅的光诱导位置敏感性 | 第46-53页 |
| ·研究现状与应用前景 | 第46页 |
| ·样品准备及实验方法 | 第46-47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-52页 |
| ·结论 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-61页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |