DSP平台下剂量控制板固件研究与开发
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题来源 | 第10页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·课题的目的和意义 | 第11-12页 |
| ·国内外发展的现状与趋势 | 第12-14页 |
| ·论文的研究内容 | 第14-17页 |
| 2 照明投影控制分系统 | 第17-30页 |
| ·光刻机整机控制原理 | 第17-19页 |
| ·整机控制系统结构 | 第17-18页 |
| ·整机控制层次结构 | 第18-19页 |
| ·整机控制接口方式 | 第19页 |
| ·照明投影控制分系统 | 第19-22页 |
| ·剂量控制板输入输出定义 | 第22-24页 |
| ·剂量控制板固件开发简介 | 第24-29页 |
| ·固件的开发环境 | 第26页 |
| ·固件的开发流程 | 第26-28页 |
| ·固件程序的基本结构 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 固件功能需求分析 | 第30-45页 |
| ·剂量控制任务 | 第30-40页 |
| ·激光器控制 | 第31-32页 |
| ·可变透过率衰减片控制 | 第32-34页 |
| ·曝光控制 | 第34-40页 |
| ·非剂量控制任务 | 第40-43页 |
| ·光束测量单元控制 | 第41-43页 |
| ·压力温度互锁监测 | 第43页 |
| ·剂量控制板工作流程 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 曝光剂量控制算法 | 第45-52页 |
| ·剂量控制基本原理 | 第45-46页 |
| ·高性能剂量控制算法 | 第46-51页 |
| ·HV/Ep 校准 | 第47-48页 |
| ·算法理论公式 | 第48-50页 |
| ·剂量控制时序 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 DSP 平台下固件的实现 | 第52-73页 |
| ·固件总体框架 | 第52-55页 |
| ·固件与DCB-Driver | 第53-54页 |
| ·固件任务规划 | 第54-55页 |
| ·主程序结构 | 第55页 |
| ·中断服务程序 | 第55-57页 |
| ·模块划分 | 第57-69页 |
| ·通用模块 | 第57-59页 |
| ·定时器模块 | 第59-60页 |
| ·AD974 模块 | 第60-63页 |
| ·AD7864 模块 | 第63-64页 |
| ·AD7846 模块 | 第64-65页 |
| ·RS485 模块 | 第65-67页 |
| ·RS232 模块 | 第67-69页 |
| ·固件的测试 | 第69-72页 |
| ·测试环境的建立 | 第69-70页 |
| ·固件运行效率测试 | 第70-71页 |
| ·固件与驱动联合测试 | 第71-72页 |
| ·测试结论 | 第72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 6 总结与讨论 | 第73-75页 |
| ·全文总结 | 第73-74页 |
| ·讨论 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第79页 |
