| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-17页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·研究现状 | 第10-15页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第15-17页 |
| 第二章 高空间分辨系统下的实验检测方法 | 第17-55页 |
| ·高空间分辨率成像系统 | 第17-21页 |
| ·光学显微系统 | 第17-19页 |
| ·扫描电子显微系统 | 第19-21页 |
| ·微尺度散斑干涉检测 | 第21-36页 |
| ·显微电子散斑干涉术 | 第21-29页 |
| ·微尺度时间序列检测方法 | 第29-36页 |
| ·微尺度数字图像相关法 | 第36-40页 |
| ·原理 | 第36页 |
| ·相关算法 | 第36-40页 |
| ·数字图像处理与识别 | 第40-49页 |
| ·图像预处理 | 第40-43页 |
| ·边缘检测技术 | 第43-48页 |
| ·直线提取 | 第48-49页 |
| ·高空间分辨率成像系统下的检测环境 | 第49-54页 |
| ·微加载系统 | 第50-51页 |
| ·微试件夹持 | 第51-52页 |
| ·微试件加工 | 第52-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第三章 薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究 | 第55-75页 |
| ·背景 | 第55-56页 |
| ·薄膜微区域变形的微标记阵列检测 | 第56-63页 |
| ·薄膜微标记阵列的制作 | 第56-58页 |
| ·薄膜微区域变形检测系统 | 第58-60页 |
| ·数字显微系统的标定 | 第60-62页 |
| ·微孔洞初始缺陷的制作 | 第62-63页 |
| ·压痕阵列图像处理 | 第63-64页 |
| ·薄膜微区域变形分析 | 第64-70页 |
| ·无缺陷镍膜变形测量 | 第65-67页 |
| ·微孔洞缺陷邻域变形场的阵列微压痕标记检测 | 第67-70页 |
| ·微标记阵列方法在微区域变形检测中的性能分析 | 第70-74页 |
| ·小结 | 第74-75页 |
| 第四章 微尺度全场光学检测技术研究 | 第75-121页 |
| ·引言 | 第75-76页 |
| ·微光学干涉系统 | 第76-83页 |
| ·基于Linnik系统的微尺度光学干涉系统 | 第83-89页 |
| ·Linnik微干涉光路系统设计 | 第83-85页 |
| ·Linnik微干涉系统性能研究 | 第85-88页 |
| ·微光学干涉数字图像采集系统 | 第88-89页 |
| ·微加载检测系统 | 第89-90页 |
| ·全场检测方法 | 第90-94页 |
| ·镜面干涉 | 第91-92页 |
| ·电子散斑干涉 | 第92页 |
| ·相移散斑干涉 | 第92-93页 |
| ·时间序列散斑干涉 | 第93-94页 |
| ·微尺度全场变形检测 | 第94-111页 |
| ·微悬臂梁的变形分析 | 第94-99页 |
| ·金属薄膜的力学性能分析 | 第99-111页 |
| ·Cu薄膜微桥的变形检测 | 第99-106页 |
| ·NiFe薄膜微桥的变形检测 | 第106-111页 |
| ·微尺度检测中的结果分析 | 第111-118页 |
| ·小结 | 第118-121页 |
| 第五章 基于晶粒尺度的多晶材料变形演化检测方法研究 | 第121-135页 |
| ·引言 | 第121页 |
| ·基于晶粒尺度检测原理 | 第121-122页 |
| ·具有可视试件的制备 | 第122-126页 |
| ·实验检测系统与实验过程 | 第126-128页 |
| ·序列运动与变形晶粒图像的分析和处理 | 第128-133页 |
| ·实验结果与分析 | 第133-134页 |
| ·小结 | 第134-135页 |
| 全文结论 | 第135-137页 |
| 参考文献 | 第137-141页 |
| 致谢、声明 | 第141-142页 |
| 个人简历、在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第142-143页 |