| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| ·研究背景及意义 | 第9页 |
| ·声表面波器件 | 第9-16页 |
| ·声表面波滤波器 | 第9-13页 |
| ·声表面波传感器 | 第13-16页 |
| ·国内外研究现状 | 第16-18页 |
| ·本论文的主要内容 | 第18-22页 |
| 第二章 声表面波器件的模拟设计及理论分析 | 第22-42页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·声表面波滤波器的基片材料的模拟和分析 | 第22-32页 |
| ·声表面波滤波器的基片材料所需考虑的参数 | 第23-24页 |
| ·声表面波滤波器中基片材料的计算方法 | 第24-28页 |
| ·声表面波滤波器中基片材料的计算结果 | 第28-32页 |
| ·声表面波器件模拟设计的分析方法 | 第32-40页 |
| ·模拟声表面波滤波器输出特性模型的类别 | 第32-33页 |
| ·模态耦合模型设计原理及模型推导 | 第33-38页 |
| ·SAW滤波器模拟、仿真结果与分析 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第三章 高频声表面波器件中多层结构基片的制备研究 | 第42-68页 |
| ·快声速材料金刚石薄膜的理论研究 | 第42-47页 |
| ·金刚石的基本结构 | 第42-44页 |
| ·金刚石薄膜在高频声表面波器件中的应用 | 第44页 |
| ·金刚石薄膜的沉积技术的发展及对比 | 第44-47页 |
| ·CVD法金刚石薄膜的制备研究 | 第47-56页 |
| ·CVD金刚石的形核机理和生长机理 | 第47-50页 |
| ·热丝法化学气相沉积(HFCVD)设备 | 第50-51页 |
| ·制备所需材料 | 第51页 |
| ·制备步骤 | 第51-56页 |
| ·压电材料ZNO薄膜的理论研究 | 第56-65页 |
| ·ZnO压电薄膜的结构及制备方法 | 第56-58页 |
| ·磁控溅射ZnO薄膜的溅射及沉积原理 | 第58-62页 |
| ·工艺条件对薄膜性能影响的理论分析 | 第62-63页 |
| ·实验设备及基本步骤 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-68页 |
| 第四章 高频声表面波器件的多层结构基片的测试结果和分析 | 第68-89页 |
| ·薄膜基片的表征方法 | 第68-76页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)分析 | 第68页 |
| ·拉曼(Raman)光谱分析 | 第68-69页 |
| ·原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM) | 第69-70页 |
| ·X光衍射分析仪 | 第70-71页 |
| ·厚度测量方法 | 第71-76页 |
| ·CVD法金刚石薄膜的结果测试和分析 | 第76-83页 |
| ·膜厚测量分析 | 第76-78页 |
| ·金刚石薄膜的晶体结构分析 | 第78-79页 |
| ·金刚石薄膜的型态和缺陷分析 | 第79-81页 |
| ·金刚石薄膜表面形态与横截面形态 | 第81-82页 |
| ·表面粗糙度测量分析 | 第82-83页 |
| ·ZNO压电薄膜的测试结果 | 第83-87页 |
| ·X-射线衍射(XRD)分析 | 第83-85页 |
| ·薄膜表面结构分析 | 第85-86页 |
| ·薄膜厚度分析 | 第86-87页 |
| ·本章小结 | 第87-89页 |
| 第五章 高频声表面波滤波器的结构设计和结果测量 | 第89-99页 |
| ·SAW滤波器的叉指换能器IDT的设计 | 第89-92页 |
| ·叉指换能器IDT的结构参数 | 第89-91页 |
| ·高频声表面波滤波器整体结构参数及版图 | 第91-92页 |
| ·高频声表面滤波器的制作 | 第92-95页 |
| ·叉指换能器IDT的制作 | 第93-94页 |
| ·溅射氧化锌的掩模夹具 | 第94页 |
| ·器件封装 | 第94-95页 |
| ·高频声表面波滤波器的测量 | 第95-98页 |
| ·网络分析仪校正 | 第96页 |
| ·测量结果及分析 | 第96-97页 |
| ·测量结果与理论模拟结果的对比 | 第97-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 第六章 无线、无源声表面波传感器的初步研究 | 第99-110页 |
| ·无线、无源声表面波传感系统的结构 | 第99-100页 |
| ·SAW传感器的整体布局和设计 | 第100-105页 |
| ·声表面波传感器设计中考虑的因素 | 第100-101页 |
| ·叉指换能器IDT的设计 | 第101-102页 |
| ·反射栅的设计 | 第102-105页 |
| ·传感器结构设计及版图 | 第105页 |
| ·声表面波传感器的研制 | 第105-106页 |
| ·传感器信号的无线收发系统 | 第106-108页 |
| ·本章小结 | 第108-110页 |
| 第七章 总结与未来展望 | 第110-112页 |
| ·总结 | 第110-111页 |
| ·未来展望 | 第111-112页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第112-113页 |
| 致谢 | 第113页 |