基于新型MEMS传感器的地震波采集系统
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·MEMS 概述 | 第10-15页 |
| ·MEMS 概述、发展及其应用领域 | 第10-12页 |
| ·MEMS 加速度传感器 | 第12-14页 |
| ·MEMS 电容式加速度传感器的检测电路 | 第14-15页 |
| ·嵌入式系统及地震波信号采集 | 第15-17页 |
| ·嵌入式系统概述 | 第15-16页 |
| ·国内外嵌入式系统的发展现状 | 第16页 |
| ·地震波信号采集概述及国内外研究现状 | 第16-17页 |
| ·嵌入式系统在地震波信号采集系统中的运用 | 第17页 |
| ·本文研究内容、意义及章节分布 | 第17-19页 |
| 第二章 新型电容式 MEMS 传感器原理及设计 | 第19-38页 |
| ·电容式加速度传感器原理 | 第19-22页 |
| ·变面积差分平板结构原理 | 第20页 |
| ·变间距差分平板结构原理 | 第20-22页 |
| ·MEMS 传感器的噪声原理 | 第22页 |
| ·机械噪声 | 第22页 |
| ·电子噪声 | 第22页 |
| ·新型微加速度传感器的设计 | 第22-38页 |
| ·结构设计与分析 | 第23-26页 |
| ·栅形条电容结构的优点 | 第26-28页 |
| ·可靠动态范围的提升 | 第26页 |
| ·微加速度计的线性改善 | 第26-27页 |
| ·机械噪声的改善 | 第27-28页 |
| ·电容边缘效应的分析 | 第28-31页 |
| ·边缘效应对驱动器的平行板电容影响 | 第28-30页 |
| ·边缘效应对栅形振子的影响 | 第30-31页 |
| ·阻尼槽电极的空气阻尼和电容分析 | 第31-33页 |
| ·刻有阻尼槽的电极空气阻尼分析 | 第31-33页 |
| ·电容阻尼槽的边缘效应 | 第33页 |
| ·新型微加速度计的性能分析 | 第33-36页 |
| ·参数设计 | 第33-34页 |
| ·模型分析 | 第34-35页 |
| ·强度分析 | 第35页 |
| ·横向灵敏度 | 第35-36页 |
| ·微制造工艺和初步测试 | 第36-38页 |
| 第三章 电容检测及调理电路模块设计 | 第38-57页 |
| ·基本电容检测电路原理 | 第38-41页 |
| ·开关电容检测电路 | 第38-39页 |
| ·电容频率法 | 第39页 |
| ·电容电桥法 | 第39页 |
| ·电荷放大法 | 第39-41页 |
| ·等效模型分析 | 第41-42页 |
| ·闭环检测特性研究 | 第42-45页 |
| ·闭环检测原理 | 第42-45页 |
| ·电路检测总体方案及各个模块设计与仿真 | 第45-57页 |
| ·载波产生电路 | 第45-47页 |
| ·调制电路 | 第47页 |
| ·电压缓冲电路和前置放大电路 | 第47-48页 |
| ·带通滤波器 | 第48-50页 |
| ·相敏解调电路 | 第50-53页 |
| ·乘法器检波 | 第50-51页 |
| ·开关相敏检波 | 第51-52页 |
| ·改进型开关解调电路 | 第52-53页 |
| ·低通滤波器 | 第53-57页 |
| 第四章 信号与硬件管理平台 | 第57-67页 |
| ·系统硬件框架设计 | 第57页 |
| ·核心处理系统 | 第57-60页 |
| ·CPU 处理器选择 | 第57页 |
| ·S3C2440 特点 | 第57-58页 |
| ·存储设备设计 | 第58-60页 |
| ·扩展接口电路设计 | 第60-66页 |
| ·A/D 模数转换接口单元 | 第60-61页 |
| ·LCD 显示接口单元 | 第61-63页 |
| ·SD 卡接口单元 | 第63-65页 |
| ·SD 卡简介 | 第63页 |
| ·SD 卡总线模式选取 | 第63-65页 |
| ·电源管理模块 | 第65-66页 |
| ·模拟与数字电源设计 | 第65-66页 |
| ·锂电池充电电路设计 | 第66页 |
| ·系统硬件 PCB 抗干扰 | 第66-67页 |
| 第五章 软件平台设计 | 第67-74页 |
| ·模数转换程序 | 第67-69页 |
| ·地震波信号的显示 | 第69-70页 |
| ·图像数据的存储 | 第69页 |
| ·地震波形信号的读取与显示 | 第69-70页 |
| ·SD 卡的读写操作 | 第70-72页 |
| ·集成开发平台的使用 | 第72-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 附录 | 第81-86页 |
| 详细摘要 | 第86-90页 |
