| 引言 | 第1-10页 |
| 第一章 SiC材料的性质及工艺概述 | 第10-20页 |
| ·SiC的晶体结构及基本性质 | 第10-13页 |
| ·SiC材料制备简介 | 第13-14页 |
| ·SiC器件的相关工艺 | 第14-17页 |
| ·目前国内外对SiC研究的现状 | 第17-18页 |
| 参考文献 | 第18-20页 |
| 第二章 肖特基二极管器件原理及测试原理 | 第20-31页 |
| ·肖特基势垒的形成 | 第20-22页 |
| ·肖特基势垒的电流输运机制 | 第22-23页 |
| ·肖特基势垒的测试 | 第23-25页 |
| ·影响肖特基二极管电流-电压特性的因素 | 第25-27页 |
| ·肖特基二极管的器件结构 | 第27-28页 |
| ·肖特基二极管的辐照效应 | 第28-30页 |
| 参考文献 | 第30-31页 |
| 第三章 SiC肖特基二极管的I-V特性及辐照效应研究 | 第31-45页 |
| 引言 | 第31页 |
| ·P型Al／6H-SiC肖特基二极管的I-V特性研究 | 第31-37页 |
| ·Au／6H-SiC肖特基二极管的I-V性研究 | 第37-41页 |
| ·6H-SiC肖特基二极管的γ及电子辐照效应 | 第41-44页 |
| 参考文献 | 第44-45页 |
| 第四章 总结 | 第45-47页 |
| 致谢 | 第47页 |