| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·自然界中生物的特殊表面 | 第10-14页 |
| ·自然界中绚丽的色彩现象 | 第10-11页 |
| ·超疏水性表面 | 第11-14页 |
| ·材料表面微纳结构的性质 | 第14-17页 |
| ·提高光学吸收效率 | 第14页 |
| ·表面改色技术 | 第14-15页 |
| ·表面浸润性 | 第15-17页 |
| ·激光与半导体材料的相互作用 | 第17-19页 |
| ·纳秒激光与半导体材料的相互作用研究 | 第17-18页 |
| ·飞秒激光与半导体材料的相互作用研究 | 第18-19页 |
| ·脉冲激光在硅表面制备微纳结构的研究目的和意义 | 第19页 |
| ·本论文主要内容及安排 | 第19-21页 |
| 2 实验系统及测试方法 | 第21-31页 |
| ·实验加工装置 | 第21-27页 |
| ·纳秒激光系统 | 第21-23页 |
| ·钛宝石飞秒激光系统 | 第23-26页 |
| ·Newport XPS Controller | 第26-27页 |
| ·微结构硅表面的制备步骤 | 第27-28页 |
| ·测试方法 | 第28-30页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第28-29页 |
| ·扫描探针显微镜 | 第29页 |
| ·透射电子显微镜 | 第29页 |
| ·紫外、可见-近红外分光光度计 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 脉冲激光辐照硅表面形成微结构的研究 | 第31-51页 |
| ·纳秒激光辐照硅表面产生微结构的研究 | 第31-43页 |
| ·能量密度对微结构的影响 | 第31-32页 |
| ·脉冲数对微结构的影响 | 第32-38页 |
| ·背景气体对微结构硅表面的影响 | 第38-40页 |
| ·波长对微结构硅表面的影响 | 第40-41页 |
| ·硅片晶向对微结构硅表面的影响 | 第41-43页 |
| ·飞秒激光辐照硅表面形成微结构的研究 | 第43-48页 |
| ·脉冲数对微结构的影响 | 第43-44页 |
| ·背景气体对微结构的影响 | 第44-48页 |
| ·纳秒激光与飞秒激光在硅表面形成对微结构的比较 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 4 飞秒激光制备彩色硅的研究 | 第51-61页 |
| ·彩色硅的制备 | 第51-56页 |
| ·能量密度对彩色硅的影响 | 第51页 |
| ·气氛条件对彩色硅的影响 | 第51-53页 |
| ·扫描速度对彩色硅的影响 | 第53-56页 |
| ·TEM 表征 | 第56-59页 |
| ·空气中的情况 | 第56页 |
| ·N_2 中的情况 | 第56-57页 |
| ·真空中的情况 | 第57-58页 |
| ·SF_6 中的情况 | 第58-59页 |
| ·不同气氛下彩色硅的光学特性分析结果 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 5 532 nm 纳秒激光制备“黑硅”及其性能的研究 | 第61-71页 |
| ·“黑硅”的制备 | 第61-63页 |
| ·不同气氛下的微构造硅表面 | 第63页 |
| ·表面微结构的浸润性能 | 第63-65页 |
| ·光学性能表征 | 第65-70页 |
| ·不同背景气氛的实验结果 | 第65-67页 |
| ·SF_6 气氛下的实验结果 | 第67-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-85页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第85页 |