| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-27页 |
| ·光学测试技术概述 | 第12-14页 |
| ·典型的干涉测量技术及仪器 | 第14-19页 |
| ·相位测量干涉技术的研究发展现状 | 第19-20页 |
| ·本文研究的背景和目的 | 第20-21页 |
| ·本文的主要研究内容及研究成果 | 第21-24页 |
| 参考文献 | 第24-27页 |
| 第二章 相位测量干涉技术的原理 | 第27-45页 |
| ·相位调制(相移)和相位测量 | 第27-30页 |
| ·相位调制的方法 | 第27-29页 |
| ·相位测量 | 第29-30页 |
| ·相位测量的算法 | 第30-36页 |
| ·采样条件 | 第31-32页 |
| ·相位提取算法 | 第32-34页 |
| ·去除相位不定性 | 第34-36页 |
| ·样品表面形貌的重建 | 第36页 |
| ·常用的相位测量方法 | 第36-40页 |
| ·四步法(FOUR-BUCKET) | 第37页 |
| ·三步法(THREE-BUCKET) | 第37-39页 |
| ·CARRE法 | 第39-40页 |
| ·相位测量干涉技术测量示例 | 第40-43页 |
| ·误差分析及系统相差的去除 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-45页 |
| 第三章 基于相位测量的干涉技术及新方法研究 | 第45-58页 |
| ·自稳定相位测量新方法研究 | 第45-47页 |
| ·快速相位提取算法研究 | 第47-53页 |
| ·常用相位提取算法 | 第47-48页 |
| ·传统快速相位提取算法及精度分析 | 第48-49页 |
| ·最佳采样方式和相移方法研究 | 第49-50页 |
| ·快速相位提取的新算法研究 | 第50-52页 |
| ·快速相位提取的新算法的具体实现 | 第52-53页 |
| ·相位去包裹算法研究 | 第53-57页 |
| ·传统的相位去包裹数学模型 | 第54-55页 |
| ·快速离散余弦变换去包裹算法研究 | 第55页 |
| ·新型快速相位提取算法及具体实现 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
| 第四章 基于白光干涉的新型相位测量成像系统研制 | 第58-91页 |
| ·系统的总体结构 | 第58-62页 |
| ·系统框图 | 第58-59页 |
| ·实验装置 | 第59-62页 |
| ·光源的特性分析及优化选择 | 第62-65页 |
| ·相位测量成像单元 | 第65-72页 |
| ·光路设计 | 第65-68页 |
| ·PZT 相移装置的控制及校准 | 第68-70页 |
| ·CCD 探测成像 | 第70-72页 |
| ·自稳定反馈控制及锁相放大电路 | 第72-79页 |
| ·自稳定反馈及锁相原理 | 第72-77页 |
| ·电路的安装与调试 | 第77-79页 |
| ·软硬件接口及软件设计 | 第79-84页 |
| ·图像采集卡 | 第79-80页 |
| ·LabVIEW软件及数据采集 | 第80-84页 |
| ·基于平面镜的系统调较 | 第84-90页 |
| ·系统的调校与测量成像 | 第84-85页 |
| ·相位提取 | 第85-88页 |
| ·相位去包裹处理 | 第88页 |
| ·三维测量成像 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-91页 |
| 第五章 自稳定定量相位测量成像系统的误差分析及性能优化 | 第91-104页 |
| ·系统误差分析及优化 | 第91-98页 |
| ·PZT相移装置的误差分析及校准 | 第91-93页 |
| ·探测器非线性引起的误差及非线性校正 | 第93-94页 |
| ·误差仿真结果 | 第94-98页 |
| ·随机误差分析与处理 | 第98-100页 |
| ·环境对实验的影响 | 第98-99页 |
| ·仪器微小漂移引起的误差 | 第99页 |
| ·对样品处理产生的误差 | 第99-100页 |
| ·系统的分辨率及测量精度 | 第100-103页 |
| ·横向分辨率 | 第100-101页 |
| ·纵向分辨率 | 第101-102页 |
| ·系统的测量范围 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-104页 |
| 第六章 自稳定定量相位测量成像实验技术研究 | 第104-111页 |
| ·标样的测量实验 | 第104-106页 |
| ·标准负片测试图 | 第104页 |
| ·标准负片测试图测量实验 | 第104-106页 |
| ·系统的定量性能分析 | 第106页 |
| ·水中的聚苯乙烯小球测量实验 | 第106-108页 |
| ·人体上皮HeLa细胞的测量及分析研究 | 第108-110页 |
| 参考文献 | 第110-111页 |
| 第七章 总结与展望 | 第111-114页 |
| 附录A 攻读博士学位期间完成的论文情况 | 第114-115页 |
| 附录B 教育背景及获奖情况 | 第115-116页 |
| 致谢 | 第116页 |