| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·表面等离子体及基本特征 | 第10-11页 |
| ·表面等离子体波的应用 | 第11-13页 |
| ·表面等离子体在光刻中的应用 | 第11页 |
| ·FSL | 第11-12页 |
| ·负折射及成像器件 | 第12-13页 |
| ·本论文的研究内容以及创新点 | 第13-14页 |
| 参考文献 | 第14-18页 |
| 第二章 表面等离子体的基本性质及其光学激发方式 | 第18-33页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·等离子振荡的概念 | 第18-22页 |
| ·体等离子体振荡 | 第18-19页 |
| ·表面等离子体振荡 | 第19-21页 |
| ·表面等离子体的产生条件 | 第21-22页 |
| ·表面等离子波器件的选材 | 第22-25页 |
| ·产生表面等离子体的光学方法 | 第25-30页 |
| ·表面等离子体波的色散特性 | 第25-26页 |
| ·基于棱镜的耦合方法 | 第26-28页 |
| ·基于光栅的耦合方法 | 第28-29页 |
| ·其他耦合方法 | 第29-30页 |
| ·不同偏振模式在SPPs耦合时的区别 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31页 |
| 参考文献 | 第31-33页 |
| 第三章 金属薄膜微结构的计算方法 | 第33-47页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·严格的耦合波方法 | 第33-38页 |
| ·矩形光栅的计算方法 | 第33-35页 |
| ·任意外形光栅的计算方法 | 第35-37页 |
| ·应用软件GSolver | 第37-38页 |
| ·模式法 | 第38页 |
| ·时域有限差分法(Finite Difference Time Domain) | 第38-44页 |
| ·差分公式 | 第38-40页 |
| ·微分形式及迭代公式 | 第40-42页 |
| ·FDTD编程时的流程图 | 第42-43页 |
| ·数值稳定性分析 | 第43-44页 |
| ·吸收边界 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44页 |
| 参考文献 | 第44-47页 |
| 第四章 亚波长金属狭缝结构的研究 | 第47-66页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·时域有限差分法改进应用于有色散的材料 | 第47-50页 |
| ·在薄膜基亚波长金属狭缝中的传播 | 第50-55页 |
| ·一维薄膜金属微结构 | 第55-59页 |
| ·入射面光栅对亚波长金属狭缝的透射增强作用 | 第55-57页 |
| ·亚波长金属狭缝的传输 | 第57-58页 |
| ·出射面光栅控制出射光的远场分布 | 第58-59页 |
| ·应用于高斯光束的器件的设计 | 第59-64页 |
| ·出射面结构的设计 | 第59-62页 |
| ·单侧非对称结构 | 第62-63页 |
| ·光束集束器件(AS) | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-66页 |
| 第五章 基于表面等离子体的高占空比金属光栅的研究 | 第66-88页 |
| ·引言 | 第66页 |
| ·高占空比反射式光栅基本结构及性能 | 第66-67页 |
| ·高占空比透射式光栅基本结构及性能 | 第67-74页 |
| ·透射式光栅结构及零级透射谱 | 第67-70页 |
| ·光栅表面动量 | 第70-71页 |
| ·Ag、Cu、Au、Al四种金属透射性能的比较 | 第71-73页 |
| ·倾斜入射的透射共振效应 | 第73-74页 |
| ·基于基本结构的改良 | 第74-79页 |
| ·基于基底的高占空比金属光栅 | 第74-75页 |
| ·透射谱改变的原因 | 第75-76页 |
| ·加介质填充物 | 第76-78页 |
| ·加多层介质膜 | 第78-79页 |
| ·高占空比金属光栅的设计与制备 | 第79-86页 |
| ·高占空比金属光栅的设计 | 第79-80页 |
| ·实验设备系统 | 第80-84页 |
| ·制备过程及分析 | 第84-86页 |
| ·本章小结 | 第86页 |
| 参考文献 | 第86-88页 |
| 第六章 论文总结与展望 | 第88-90页 |
| ·对已完成工作的总结 | 第88-89页 |
| ·存在的不足和建议 | 第89-90页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91页 |