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引信微机电万向开关的结构设计与数值模拟分析

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
1 绪论第8-15页
   ·选题背景第8页
   ·MEMS技术基本概念及特点第8-10页
   ·MEMS技术的在引信中的应用第10-11页
   ·国内外MEMS万向开关发展现状第11-14页
     ·断续型MEMS万向开关第11-13页
     ·保持接通型MEMS万向开关第13-14页
   ·本文主要研究工作第14页
   ·本章小结第14-15页
2 引信MEMS万向开关的工作环境和技术指标第15-22页
   ·万向开关在引信中的应用环境第15-20页
     ·勤务处理环境第15-16页
     ·发射环境第16-17页
     ·飞行环境第17-18页
     ·撞击目标环境第18-20页
   ·万向开关的指标要求第20-21页
     ·万向性要求第20页
     ·快速响应和可靠接触要求第20-21页
     ·抗过载要求第21页
   ·本章小结第21-22页
3 引信MEMS万向开关结构设计第22-36页
   ·万向开关结构第22-25页
     ·保持接通型开关第23页
     ·断续型开关第23-25页
   ·万向开关理论计算第25-28页
     ·万向碰撞开关的工作原理第25-26页
     ·万向碰撞开关的动力学模型第26-28页
   ·万向开关中的空气阻尼第28-32页
     ·阻尼类型第28-31页
     ·阻尼力计算第31-32页
   ·万向开关支撑弹簧和缓冲弹簧的设计第32-35页
     ·支撑弹簧形状的设计选择第32-34页
     ·缓冲弹簧的设计第34-35页
   ·万向开关质量块的设计第35页
   ·本章小结第35-36页
4 引信MEMS万向开关的仿真分析第36-58页
   ·有限元法、ANSYS和Workbench第36-37页
     ·有限元法介绍第36页
     ·ANSYS简介第36页
     ·Workbench介绍第36-37页
   ·万向开关的静力学分析第37-43页
     ·支撑弹簧形状的确定第38-39页
     ·开关的万向性第39-41页
     ·质量块与碰撞台阶间隙的确定第41页
     ·支撑弹簧线宽和半径的确定第41-43页
   ·万向开关的模态分析第43-47页
   ·万向开关的瞬态动力学分析第47-55页
     ·碰撞台阶断开与连续对万向开关性能的影响第47-49页
     ·支撑弹簧线宽对万向开关性能的影响第49-51页
     ·开关的响应阈值第51-52页
     ·开关的万向性分析第52-55页
   ·开关的抗过载分析第55-56页
   ·开关参数的确定第56-57页
   ·本章小结第57-58页
5 万向开关的MEMS工艺技术研究第58-65页
   ·MEMS加工工艺第58-61页
     ·LIGA技术第58-59页
     ·UV-LIGA技术第59-61页
   ·加工工艺软件模拟第61-64页
     ·Coventor Ware介绍第61-62页
     ·万向开关加工工艺第62-64页
   ·本章小结第64-65页
6 总结和展望第65-67页
   ·论文总结第65页
   ·论文创新点第65-66页
   ·展望第66-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-72页
附录第72页

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