| 摘要 | 第1-12页 |
| ABSTRACT | 第12-14页 |
| 符号说明 | 第14-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-29页 |
| ·多孔介质的性质和应用 | 第15-16页 |
| ·低k材料的研究现状 | 第16-19页 |
| ·对低k材料的要求 | 第17页 |
| ·低k材料的分类 | 第17页 |
| ·低k材料主要的制备方法 | 第17-18页 |
| ·存在的主要问题 | 第18-19页 |
| ·AlOOH和Al_2O_3纳米材料的研究现状 | 第19-20页 |
| ·溶剂热压方法及特点 | 第20-21页 |
| ·论文研究内容以及创新点 | 第21-23页 |
| ·仪器设备及表征手段 | 第23-24页 |
| ·样品制备设备 | 第23-24页 |
| ·样品的主要测试方法 | 第24页 |
| 参考文献 | 第24-29页 |
| 第二章 水热热压法制备的Al_2O_3多孔纳米固体及表征 | 第29-35页 |
| ·Al_2O_3多孔纳米固体的制备及热稳定性分析 | 第29-31页 |
| ·Al_2O_3多孔纳米固体的制备 | 第29页 |
| ·Al_2O_3多孔纳米固体的热稳定性分析 | 第29-30页 |
| ·Al_2O_3多孔纳米固体的微观形貌 | 第30-31页 |
| ·Al_2O_3多孔纳米固体介电性质 | 第31-34页 |
| ·Al_2O_3多孔纳米固体介电常数 | 第32页 |
| ·Al_2O_3多孔纳米固体介电谱 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34页 |
| 引用文献 | 第34-35页 |
| 第三章 有机溶剂热压法和混合溶剂热压法制备Al_2O_3多孔固体 | 第35-45页 |
| ·二氧六环与Al_2O_3纳米颗粒表面的结合情况 | 第35-37页 |
| ·热处理对样品的影响 | 第37-40页 |
| ·对样品进行热分析 | 第37-38页 |
| ·热处理前后红外光谱对比 | 第38-39页 |
| ·热处理前后的形貌变化 | 第39页 |
| ·热处理前后介电常数对比 | 第39-40页 |
| ·热处理前后稳定性的变化 | 第40页 |
| ·热压压力对Al_2O_3多孔固体的影响 | 第40-42页 |
| ·混合溶剂热压法制备Al_2O_3多孔固体 | 第42-44页 |
| ·实验设计和方案 | 第42-43页 |
| ·实验数据及结果分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44页 |
| 引用文献 | 第44-45页 |
| 第四章 聚酰亚胺/Al_2O_3复合多孔固体的制备与表征 | 第45-52页 |
| ·实验部分 | 第45-46页 |
| ·实验设计 | 第45-46页 |
| ·实验方法 | 第46页 |
| ·复合多孔固体的红外吸收光谱和热分析 | 第46-47页 |
| ·复合多孔固体的形貌观测和热稳定性分析 | 第47-50页 |
| ·复合多孔固体形貌 | 第47-48页 |
| ·复合多孔固体的热稳定性分析 | 第48-50页 |
| ·复合多孔固体的介电性质 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
| 第五章 氮化硼多孔固体的制备与表征 | 第52-60页 |
| ·氮化硼的基本性质 | 第52-53页 |
| ·氮化硼多孔固体的制备与形貌表征 | 第53-54页 |
| ·氮化硼多孔固体结构和性能表征 | 第54-58页 |
| ·氮化硼多孔固体孔隙率与介电常数的关系 | 第54-55页 |
| ·样品中氧化硼的检测 | 第55-57页 |
| ·氮化硼多孔固体的热导率 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 引用文献 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 发表论文目录 | 第61-62页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第62页 |
