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聚合物平面光波导延时线的研究

提要第1-8页
第一章 绪论第8-14页
   ·光波导延时线产生、发展、意义第8-9页
   ·光波导延时线的应用前景第9-10页
   ·光延时线的国内外进展第10-14页
第二章 延时线相关理论第14-18页
   ·相控阵天线原理第14-16页
   ·光波导延时线的原理及特点第16-17页
   ·几种实现光学真延时的方法第17-18页
第三章 光波导延时线波导理论知识第18-27页
   ·光波导的模拟方法第18-22页
   ·光波导的制备材料第22-23页
   ·光波导延时线波导的制备工艺第23-25页
   ·测试系统平台第25-27页
第四章 光延时线的设计第27-34页
   ·螺旋型设计方案第27-29页
   ·损耗的模拟第29-30页
   ·延时线阵列的设计第30-34页
第五章 SU-8 光刻胶制备光波导延时线第34-40页
   ·SU-8 制备延时线器件的模拟第34-36页
   ·SU-8 光刻胶介绍第36页
   ·SU-8 材料制备光波导延时线工艺流程第36-37页
   ·器件的制备和测试第37-40页
第六章 ZPU 材料制备光波导延时线第40-54页
   ·ZPU 材料制备器件的模拟第40-45页
   ·ZPU 材料的性质第45-49页
   ·ZPU 材料的工艺流程第49-50页
   ·ZPU 制备延时线器件工艺的改进第50-54页
第七章 总结和展望第54-56页
   ·总结第54页
   ·需要进一步解决的技术问题第54-55页
   ·应用前景展望第55-56页
参考文献第56-60页
致谢第60-61页
摘要第61-63页
Abstract第63-65页

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