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二硫化钼薄膜制备及其转移的研究

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
第1章 绪论第12-24页
    1.1 前言第12-13页
    1.2 二硫化钼的结构第13-14页
    1.3 二硫化钼的制备第14-19页
        1.3.1 “Top-down”方式第14-17页
        1.3.2 “Bottom-up”方式第17-19页
    1.4 二硫化钼的应用第19-23页
        1.4.1 场效应晶体管第19-20页
        1.4.2 气敏传感器第20-21页
        1.4.3 柔性电子器件第21页
        1.4.4 催化析氢第21-22页
        1.4.5 光电器件第22页
        1.4.6 其他方面的应用第22-23页
    1.5 本文研究的主要内容第23-24页
第2章 实验及表征手段第24-30页
    2.1 实验装置与试剂第24-25页
        2.1.1 实验装置第24-25页
        2.1.2 材料和试剂第25页
    2.2 实验步骤及原理第25-27页
        2.2.1 CVD法合成二硫化钼薄膜原理第25-26页
        2.2.2 表面预处理第26页
        2.2.3 转移原理第26-27页
    2.3 表征手段第27-29页
        2.3.1 光学显微镜第27页
        2.3.2 激光拉曼光谱第27-28页
        2.3.3 PL光谱分析第28-29页
    2.4 本章小结第29-30页
第3章 基片预处理对二次生长MoS_2薄膜的影响第30-46页
    3.1 引言第30页
    3.2 二硫化钼薄膜的制备第30-32页
        3.2.1 前期准备工作第30-31页
        3.2.2 制备阶段第31-32页
    3.3 空气中加热处理对二硫化钼薄膜生长的影响第32-41页
        3.3.1 2mg钼源条件下空气中加热处理对二硫化钼薄膜生长的影响第33-36页
        3.3.2 1mg钼源条件下空气中加热处理对二硫化钼薄膜生长的影响第36-39页
        3.3.3 1.5mg钼源条件下空气中加热处理对二硫化钼薄膜生长的影响第39-41页
    3.4 氩气保护中加热处理对二硫化钼薄膜生长的影响第41-43页
    3.5 本章小结第43-46页
第4章 MoS_2薄膜的转移第46-56页
    4.1 引言第46页
    4.2 双层二硫化钼薄膜的合成第46-48页
    4.3 不使用水进行胶带转移第48-50页
    4.4 使用水进行胶带转移第50-51页
    4.5 PS溶解辅助转移第51-54页
        4.5.1 PS/MoS_2/蓝宝石结构的制备第51-52页
        4.5.2 转移及去除PS第52-53页
        4.5.3 转移结果第53-54页
    4.6 本章小结第54-56页
第5章 全文总结第56-58页
参考文献第58-66页
致谢第66页

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