| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 TFT-LCD 制造流程简介 | 第11-17页 |
| ·ARRAY 工程简介 | 第12-13页 |
| ·成盒工程简介 | 第13-14页 |
| ·模组工程简介 | 第14页 |
| ·精细洗净技术在TFT-LCD 制造工程中的作用 | 第14-15页 |
| ·本人工作 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 TFT-LCD 制造工程中的污染源及其引起的不良 | 第17-24页 |
| ·附着粒子 | 第17-18页 |
| ·有机污染物 | 第18页 |
| ·无机污染物 | 第18-19页 |
| ·污染物的控制 | 第19-20页 |
| ·污染物引起的不良 | 第20-22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第三章 TFT-LCD 制造工程中常用的精细洗净技术 | 第24-44页 |
| ·纯水和超纯水 | 第24-27页 |
| ·UV 和E-UV 洗净 | 第27-29页 |
| ·BRUSH 洗净(毛刷洗净) | 第29-32页 |
| ·超声波洗净 | 第32-36页 |
| ·高压喷射洗净（高压SPRAY 或高压JET） | 第36-39页 |
| ·研磨洗净技术 | 第39-40页 |
| ·干燥冷却技术 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 TFT-LCD 洗净工程中洗净效果的评价方法 | 第44-48页 |
| ·气体中附着粒子的评价方法 | 第44-45页 |
| ·液体中附着粒子的评价方法 | 第45-46页 |
| ·玻璃基板表面附着粒子的评价方法 | 第46页 |
| ·玻璃基板表面有机物的评价方法 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 提高精细洗净效果的工艺研究 | 第48-67页 |
| ·UV 洗净工艺研究 | 第48-51页 |
| ·BRUSH 洗净工艺研究 | 第51-57页 |
| ·高压喷射洗净工艺研究 | 第57-62页 |
| ·超声波洗净工艺研究 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第六章 全文总结 | 第67-69页 |
| ·工作总结 | 第67页 |
| ·研究展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第71页 |
