| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| ·课题背景与研究意义 | 第11-12页 |
| ·NdFeB稀土永磁合金 | 第12-13页 |
| ·NdFeB稀土永磁合金的制备方法 | 第12页 |
| ·NdFeB稀土永磁合金的研究进展 | 第12-13页 |
| ·NdFeB稀土永磁合金的应用 | 第13页 |
| ·NdFeB永磁薄膜 | 第13-20页 |
| ·NdFeB永磁薄膜的制备 | 第13-15页 |
| ·NdFeB永磁薄膜的研究进展 | 第15-19页 |
| ·NdFeB永磁薄膜的应用 | 第19-20页 |
| ·本文研究目的和主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·本文研究目的 | 第20页 |
| ·本文主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 实验及表征方法 | 第21-26页 |
| ·NdFeB靶材的制备 | 第21-22页 |
| ·实验材料 | 第21页 |
| ·实验设备 | 第21页 |
| ·制备方法 | 第21页 |
| ·表征方法 | 第21-22页 |
| ·NdFeB薄膜的制备 | 第22-25页 |
| ·实验材料 | 第22页 |
| ·实验设备 | 第22-23页 |
| ·制备方法 | 第23-24页 |
| ·表征方法 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 NdFeB合金靶材的熔炼及其组织性能研究 | 第26-34页 |
| ·靶材的熔炼 | 第26-29页 |
| ·靶材的熔炼要求 | 第26页 |
| ·靶材熔炼设备 | 第26-27页 |
| ·靶材的制备工艺 | 第27-29页 |
| ·铸态NdFeB组织及性能研究 | 第29-33页 |
| ·铸态NdFeB微观组织结构及物相分析 | 第29-31页 |
| ·铸态NdFeB的磁性能 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 制备工艺对NdFeB薄膜形貌及相结构的影响 | 第34-55页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·工艺参数对薄膜组织成分的影响 | 第34-41页 |
| ·缓冲层对NdFeB薄膜相结构的影响 | 第34-37页 |
| ·靶材成分对NdFeB薄膜相结构的影响 | 第37-39页 |
| ·溅射功率对薄膜组织成分的影响 | 第39-40页 |
| ·溅射气压对薄膜组织成分的影响 | 第40-41页 |
| ·工艺参数对沉积速率的影响 | 第41-43页 |
| ·溅射功率对沉积速率的影响 | 第41-42页 |
| ·溅射气压对沉积速率的影响 | 第42-43页 |
| ·工艺参数对表面形貌的影响 | 第43-47页 |
| ·溅射功率对表面形貌的影响 | 第43-45页 |
| ·溅射气压对表面形貌的影响 | 第45-47页 |
| ·晶化处理对NdFeB薄膜形貌及相结构的影响 | 第47-52页 |
| ·晶化处理对NdFeB薄膜表面形貌的影响 | 第47-50页 |
| ·晶化处理对NdFeB薄膜组织结构的影响 | 第50-52页 |
| ·薄膜表面粗糙化机理分析 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第5章 NdFeB/Mo多层膜的相结构及磁性能 | 第55-85页 |
| ·引言 | 第55-56页 |
| ·NdFeB/Mo多层膜的制备 | 第56-57页 |
| ·调制周期为5的NdFeB/Mo多层膜 | 第57-66页 |
| ·NdFeB薄膜的相结构 | 第57-59页 |
| ·NdFeB薄膜的微观形貌 | 第59-60页 |
| ·NdFeB薄膜的磁性能 | 第60-63页 |
| ·NdFeB厚膜的相结构 | 第63-64页 |
| ·NdFeB厚膜的磁性能 | 第64-66页 |
| ·调制周期为10的NdFeB/Mo多层膜 | 第66-75页 |
| ·NdFeB薄膜的相结构 | 第67-68页 |
| ·NdFeB薄膜的微观形貌 | 第68-69页 |
| ·NdFeB薄膜的磁性能 | 第69-71页 |
| ·NdFeB厚膜的相结构 | 第71-73页 |
| ·NdFeB厚膜的磁性能 | 第73-75页 |
| ·晶化处理对NdFeB/Mo多层膜的影响 | 第75-82页 |
| ·晶化处理对多层膜相结构的影响 | 第76-77页 |
| ·晶化处理对多层膜表面形貌的影响 | 第77-80页 |
| ·晶化处理对多层膜的磁性能影响 | 第80-82页 |
| ·纳米晶复合多层膜磁性能与理论值差异分析 | 第82-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 结论 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-96页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第96-97页 |
| 致谢 | 第97页 |