| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-8页 |
| 第二章 文献综述 | 第8-18页 |
| ·碳纳米管简介 | 第8-9页 |
| ·碳纳米管的制备方法 | 第9-10页 |
| ·碳纳米管生长机理 | 第10-11页 |
| ·水平定向碳纳米管阵列的生长研究进展 | 第11-14页 |
| ·水平碳纳米管阵列的应用 | 第14-16页 |
| ·本课题的主要研究内容及意义 | 第16-18页 |
| 第三章 定向碳纳米管阵列生长与转移研究 | 第18-30页 |
| ·实验试剂 | 第18页 |
| ·实验仪器 | 第18页 |
| ·实验过程 | 第18-19页 |
| ·实验结果分析与表征 | 第19-26页 |
| ·SiO_2/Si衬底上碳纳米管阵列的生长 | 第26-29页 |
| ·本章总结 | 第29-30页 |
| 第四章 场效应晶体管器件的制作与性能测试 | 第30-43页 |
| ·器件的加工与测试 | 第30-38页 |
| ·气敏检测系统的搭建 | 第38-41页 |
| ·本章总结 | 第41-43页 |
| 结论 | 第43-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |