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基于MEMS工艺的多频带太赫兹波超材料器件的设计、制备与性能测试

摘要第5-7页
abstract第7-8页
第一章 绪论第14-33页
    1.1 研究背景及意义第14-15页
    1.2 超材料物理特性第15-19页
        1.2.1 超材料的定义第15-16页
        1.2.2 超材料的介电常数和磁导率第16-18页
        1.2.3 等效介质理论及等效参数第18-19页
    1.3 超材料的共振特性第19-23页
        1.3.1 单个SRR的共振特性第19-20页
        1.3.2 SRRs阵列之间的相互耦合第20-22页
        1.3.3 SRR的响应饱和特性第22-23页
    1.4 太赫兹超材料器件研究进展第23-32页
        1.4.1 硬性衬底太赫兹器件第23-27页
        1.4.2 柔性衬底太赫兹器件第27-32页
    1.5 论文章节安排第32-33页
第二章 基于硅衬底的太赫兹波超材料器件第33-44页
    2.1 引言第33-34页
    2.2 基于硅衬底的超材料器件设计与仿真第34-35页
        2.2.1 基于硅衬底的超材料器件设计第34-35页
        2.2.2 基于硅衬底的超材料器件仿真第35页
    2.3 基于硅衬底的超材料器件性能对比与分析第35-40页
        2.3.1 传输谱结果与分析第35-37页
        2.3.2 电磁场分布与分析第37-40页
    2.4 xy轴独立控制连续可调超材料器件性能研究第40-43页
        2.4.1 传输谱结果与分析第40-41页
        2.4.2 电磁场分布与分析第41-43页
    2.5 本章小结第43-44页
第三章 基于PDMS柔性衬底的太赫兹波超材料器件第44-55页
    3.1 引言第44-45页
    3.2 基于PDMS衬底的超材料器件设计与制备第45-46页
        3.2.1 基于PDMS衬底的超材料器件设计第45-46页
        3.2.2 基于PDMS衬底的超材料器件制备第46页
    3.3 基于PDMS衬底的超材料器件性能测试与分析第46-54页
        3.3.1 电磁场分布与传输谱结果分析第46-49页
        3.3.2 弯曲传感特性测试与分析第49-54页
    3.4 本章小结第54-55页
第四章 基于parylene-C柔性衬底的太赫兹超材料器件第55-63页
    4.1 引言第55-56页
    4.2 基于parylene-C衬底的超材料器件设计与制备第56-57页
        4.2.1 基于parylene-C衬底的超材料器件设计第56页
        4.2.2 基于parylene-C衬底的超材料器件制备第56-57页
    4.3 基于parylene-C衬底的超材料器件性能测试与分析第57-61页
        4.3.1 电磁场分布与传输谱结果分析第57-59页
        4.3.2 弯曲特性测试与分析第59-60页
        4.3.3 极化角与入射角传输谱测试与分析第60-61页
    4.4 传感器/探测器仿真与分析第61-62页
    4.5 本章小结第62-63页
第五章 总结与展望第63-65页
    5.1 研究总结第63-64页
    5.2 展望第64-65页
参考文献第65-71页
致谢第71-72页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文及专利第72页

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