| 摘要 | 第8-10页 |
| Abstract | 第10-12页 |
| 主要符号表 | 第15-18页 |
| 第1章 绪论 | 第18-26页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第18-20页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第20-23页 |
| 1.2.1 动态真空校准技术研究现状 | 第20页 |
| 1.2.2 稀薄气体非稳定流动与传热研究现状 | 第20-23页 |
| 1.3 目前研究存在的问题 | 第23页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第23-26页 |
| 第2章 毫秒量级快速动态真空校准气体膨胀过程理论分析 | 第26-41页 |
| 2.1 动态真空标准 | 第26-29页 |
| 2.1.1 动态真空校准特点 | 第26页 |
| 2.1.2 动态真空标准压力建立方法 | 第26-28页 |
| 2.1.3 动态真空校准系统 | 第28-29页 |
| 2.2 动态真空标准压力理论模型 | 第29-32页 |
| 2.3 实际气体特性和温度变化对标准压力的影响 | 第32-33页 |
| 2.4 快速开合超高真空插板阀阀板运动模型 | 第33-35页 |
| 2.5 气体膨胀过程流态分析 | 第35-39页 |
| 2.5.1 流态判据 | 第35-37页 |
| 2.5.2 流态判别 | 第37-38页 |
| 2.5.3 流态近似 | 第38-39页 |
| 2.6 理论标准压力计算 | 第39-40页 |
| 2.7 本章小结 | 第40-41页 |
| 第3章 毫秒量级快速动态真空校准气体膨胀过程数值模拟 | 第41-53页 |
| 3.1 快速动态真空校准系统模型简化 | 第41-42页 |
| 3.2 快速动态真空校准气体膨胀过程数值模拟 | 第42-44页 |
| 3.2.1 有限元模型 | 第42-43页 |
| 3.2.2 控制方程 | 第43页 |
| 3.2.3 初始条件及热边界条件 | 第43-44页 |
| 3.2.4 求解器设置 | 第44页 |
| 3.3 阻塞流下下游边界压力对上游气体流动的影响 | 第44-45页 |
| 3.4 模拟结果与分析 | 第45-50页 |
| 3.4.1 上游室压力场分布 | 第45-47页 |
| 3.4.2 上游室速度场分布 | 第47页 |
| 3.4.3 上游室温度场分布 | 第47-50页 |
| 3.5 实际气体特性及温度变化修正因子计算 | 第50-51页 |
| 3.6 限流小孔流导计算 | 第51-52页 |
| 3.7 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 毫秒量级快速动态真空校准气体膨胀过程实验研究 | 第53-59页 |
| 4.1 快速动态真空校准实验装置 | 第53-54页 |
| 4.2 实验步骤及校准原理 | 第54-55页 |
| 4.3 阻塞流流态下理论及模拟压力验证 | 第55-56页 |
| 4.4 快速反应真空计响应时间测定 | 第56-57页 |
| 4.5 上游室压力测量 | 第57-58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 全文总结与展望 | 第59-62页 |
| 5.1 全文总结 | 第59-60页 |
| 5.2 核心创新点 | 第60-61页 |
| 5.3 后续工作展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文 | 第68页 |
