摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4页 |
1 绪论 | 第7-14页 |
1.1 引言 | 第7页 |
1.2 WS_2的材料性质 | 第7-9页 |
1.3 WS_2的研究进展 | 第9-13页 |
1.4 选题意义和主要内容 | 第13-14页 |
2 WS_2薄膜的制备与研究 | 第14-33页 |
2.1 WS_2薄膜的制备 | 第14-20页 |
2.2 WS_2薄膜的表征 | 第20-26页 |
2.3 不同实验条件对WS_2薄膜的影响 | 第26-31页 |
2.4 本章小结 | 第31-33页 |
3 WS_2的光电导特性研究 | 第33-51页 |
3.1 光电导器件的制备 | 第33-38页 |
3.2 器件的光电导特性研究 | 第38-49页 |
3.3 本章小结 | 第49-51页 |
4 WS_2-MOSFET的光电特性研究 | 第51-58页 |
4.1 WS_2-MOSFET器件的制备 | 第51页 |
4.2 WS_2-MOSFET器件的电学特性表征 | 第51-53页 |
4.3 WS_2-MOSFET器件的光电学特性研究 | 第53-57页 |
4.4 本章小结 | 第57-58页 |
5 总结与展望 | 第58-59页 |
5.1 总结 | 第58页 |
5.2 展望 | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-62页 |
致谢 | 第62-63页 |
在学期间发表论文清单 | 第63页 |