多驱动大行程柔性定位系统设计与分析
| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 柔性定位系统国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 柔性定位平台研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 柔性定位控制研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 1.4 本章小结 | 第16-17页 |
| 2 多驱动大行程柔性定位系统原理与设计 | 第17-27页 |
| 2.1 柔性定位系统原理与组成 | 第17-18页 |
| 2.2 柔性定位平台典型构件 | 第18-25页 |
| 2.2.1 柔性铰链机构 | 第18-21页 |
| 2.2.2 微位移放大机构 | 第21-23页 |
| 2.2.3 微位移驱动器 | 第23-25页 |
| 2.3 柔性定位平台整体结构 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 柔性定位平台静动力学与耦合研究 | 第27-49页 |
| 3.1 定位平台静力学分析 | 第27-37页 |
| 3.1.1 桥式机构静力建模 | 第27-33页 |
| 3.1.2 定位平台静力建模 | 第33-37页 |
| 3.2 定位平台动力学分析 | 第37-40页 |
| 3.3 定位平台耦合运动分析 | 第40-41页 |
| 3.4 定位平台有限元仿真验证 | 第41-47页 |
| 3.4.1 定位平台静态仿真分析 | 第41-44页 |
| 3.4.2 定位平台模态仿真分析 | 第44-45页 |
| 3.4.3 定位平台耦合仿真分析 | 第45-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 4 定位系统迟滞建模与控制策略研究 | 第49-69页 |
| 4.1 定位系统迟滞非线性建模 | 第49-58页 |
| 4.1.1 迟滞模型基本原理 | 第50-52页 |
| 4.1.2 Bouc-Wen逆模型及参数识别 | 第52-55页 |
| 4.1.3 Bouc-Wen模型在线验证 | 第55-58页 |
| 4.2 逆Bouc-Wen模型的闭环控制 | 第58-68页 |
| 4.2.1 压电陶瓷传递函数 | 第59-61页 |
| 4.2.2 定位平台传递函数 | 第61-63页 |
| 4.2.3 PID控制器设计与仿真 | 第63-68页 |
| 4.3 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 定位系统实验测试与分析评价研究 | 第69-87页 |
| 5.1 实验装置与方法 | 第69-73页 |
| 5.1.1 实验样机 | 第70-71页 |
| 5.1.2 实验仪器 | 第71-73页 |
| 5.2 定位系统开环迟滞实验 | 第73-74页 |
| 5.3 定位系统闭环性能实验 | 第74-85页 |
| 5.3.1 位移分辨率实验 | 第75页 |
| 5.3.2 重复定位精度实验 | 第75-77页 |
| 5.3.3 线性度实验 | 第77-78页 |
| 5.3.4 解耦性实验 | 第78-80页 |
| 5.3.5 动态响应实验 | 第80-84页 |
| 5.3.6 工作行程实验 | 第84-85页 |
| 5.4 总体性能指标 | 第85-86页 |
| 5.5 本章小结 | 第86-87页 |
| 6 结论与展望 | 第87-89页 |
| 6.1 结论 | 第87-88页 |
| 6.2 展望 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-95页 |
| 附录 | 第95页 |
| A.作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第95页 |
| B.作者在攻读学位期间参加的科研项目目录 | 第95页 |
